[发明专利]半导体结构在审
| 申请号： | 202110660780.2 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN113540087A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 朱峯庆;李威养;林家彬 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/092 | 分类号： | H01L27/092;H01L27/088;H01L21/8238;H01L21/8234 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种半导体结构，包括：隔离结构；第一源极/漏极部件(S/D)以及第二源极/漏极部件，在隔离结构上，定义第一方向，在俯视图中，第一方向从第一源极/漏极部件至第二源极/漏极部件；一个或多个通道层，连接第一源极/漏极部件以及第二源极/漏极部件；栅极结构，在第一源极/漏极部件以及第二源极/漏极部件之间，且齿合每个通道层；以及导孔结构，在第一源极/漏极部件下方，且电性连接至第一源极/漏极部件。在垂直于第一方向的剖面图中，导孔结构具有轮廓，轮廓沿着由下至上的方向由宽至窄。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 结构 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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