[发明专利]接合结构及其形成方法在审
申请号: | 202110607628.8 | 申请日: | 2021-06-01 |
公开(公告)号: | CN115440689A | 公开(公告)日: | 2022-12-06 |
发明(设计)人: | 何宜蓁;刘旭唐;吕文隆 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L21/48;H01L21/60 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;李伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供了一种接合结构及其形成方法。接合结构包括:第一线路层;第一接合金属层,设置在第一线路层上,并且具有第一接合表面;第一介电材料,覆盖第一接合金属层的部分上表面且暴露出第一接合表面,其中,第一介电材料提供第二接合表面,第二接合表面高于第一接合表面以与第一接合表面形成阶梯差。 | ||
搜索关键词: | 接合 结构 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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