[发明专利]扩散设备和扩散系统在审
| 申请号： | 202110601929.X | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113373522A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 蒋新和;王国峰;任宏志 | 申请（专利权）人： | 北海惠科半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06;C30B31/16;C30B29/06;H01L21/02;H01L21/22;H01L21/223 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种扩散设备和扩散系统，用于对晶圆进行氧化沉积制程，其特征在于，包括：炉体、进气口、出气口和晶舟以及导流管，炉体内部中空结构；进气口设置在所述炉体上，用于进气；进气口和出气口分别位于炉体底部的两侧；晶舟设置在炉体内，用于承载晶圆；导流管设置在炉体内，导流管的一端与进气口连接，另一端延伸至炉体的上部，导流管设置有第一开口，第一开口设置在导流管上，靠近炉体的上部；其中，扩散设备还设置有第二开口，对应晶舟的下部设置，将反应气体导入到晶舟的下部。以使整个炉体都能迅速接触到气体参与反应，改善晶圆氧化沉积的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 设备 系统 | ||
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- 一种用于连续式生产的晶体硅太阳能电池扩散炉及生产线-201921662382.9
- 龚杰洪;范迎新;张威;苏卫中 - 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 2019-09-30 - 2020-07-24 - C30B31/06
- 本实用新型公开了一种用于连续式生产的晶体硅太阳能电池扩散炉，包括第一水平传送装置，沿所述第一水平传送装置的传送方向依次设有第一上料腔、第一预热腔、扩散工艺腔、第一冷却腔及第一下料腔。一种用于连续式生产的晶体硅太阳能电池生产线，包括制绒机、前述的扩散炉、去PSG清洗机、退火炉、平板式PECVD、激光消融机、印刷烧结设备及测试分选机，所述制绒机、扩散炉、去PSG清洗机、退火炉、平板式PECVD、激光消融机、印刷烧结设备及测试分选机依次布置。本实用新型前道工序与后道工序之间可实现无缝对接或只采用简单的机械手装卸片即可，可实现连续式生产，具备效率更高，对于硅片的损伤更少，工序间物料传送结构简单等多方面的优点。
- 一种低压扩散炉-201811651087.3
- 丁志强;刘列;彭云 - 天合光能股份有限公司
- 2018-12-31 - 2019-08-27 - C30B31/06
- 本发明公开了一种低压扩散炉，包括炉体，所述炉体包括炉管以及炉门，还包括真空泵、驱动炉门开启的退出推进气缸组件以及驱动炉门关闭的压紧松开气缸组件，所述炉管的尾部包括两个接口，其中一个接口与所述真空泵之间通过密封管道连接，另一个接口为进气源口，与外部管路连接。本发明可以充分利用现有闲置的常压扩散炉，将其改进为低压扩散炉，大大降低了成本，并且使得资源得到充分利用。
- 一种减压扩散炉炉口的密封装置-201710259508.7
- 吴俊旻;常青;扈静;闫涛;李家栋 - 通威太阳能（合肥）有限公司
- 2017-04-20 - 2019-03-15 - C30B31/06
- 本发明涉及太阳能电池板制造设备技术领域，尤其为一种减压扩散炉炉口的密封装置，包括石英管及炉门，炉门包括内层及外层，内层与外层间设有冷却腔，内层设有外圈及内圈，外圈及内圈之间设有放置槽，外圈装有密封圈，外圈另一侧设有卡槽，内层与外层在端面处设有回水腔，回水腔与冷却腔连通，冷却腔处设有进水口，回水腔处设有出水口，外层的端盖设有圆柱，端盖上还设有多个支撑杆，支撑杆通过销连接支撑爪，支撑爪的一端卡接于卡槽，另一端活动链接块，所述块设于圆管上，所述圆管套设在圆杆上，所述圆杆的一端与圆柱螺纹连接，另一端设有方形块。加强炉门的密封性及炉内温度平稳。
- 一种链式扩散炉口托盘式风帘-201820494128.1
- 顾君;耿刘勇;邹春梅;范琼 - 无锡德鑫太阳能电力有限公司
- 2018-04-09 - 2018-12-11 - C30B31/06
- 本实用新型公开了一种链式扩散炉口托盘式风帘，包括风帘骨架以及位于风帘骨架上的两个侧面挡板、一个前挡板和一个后挡板，所述风帘骨架由两个方形框架和四个连接支脚构成，所述风帘骨架内部设置有百叶结构，所述百叶结构由若干均匀排列的百叶片构成，所述百叶片具备一定的斜度，所述百叶片的顶部和底部分别设置有开口向下的上凹槽和开口向上的下凹槽，所述上凹槽和下凹槽分别位于百叶片的两面上，所述百叶片的顶部两端分别固定在风帘骨架的上端的方形框架的两侧端上。本实用新型结构设计科学巧妙，能够阻止链式扩散炉口的粉尘及有机物掉落在硅片表面，减少电池片的外观降级和返工比例。
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