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[实用新型]一种卧式金刚线切割机-CN202320986332.6有效
发明人：王卫良;李士昌;刘超平;金剑峰 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B28D1/22 文献下载
摘要：一种卧式金刚线切割机，包括壳体；所述壳体内安装有切割装置，所述切割装置包括前安装台以及后安装台；所述前安装台连接于壳体前侧；所述后安装台连接于壳体后侧；所述后安装台上方固定有电机；所述后安装台前侧下方连接有第一挡板，后安装台左右两侧上方皆连接有侧连接板；两所述侧连接板之间前侧下方连接有第二挡板；所述后安装台上套有后挡水外框；所述后挡水外框左右两侧皆铰接有防水侧框；所述防水侧框前侧连接有第一挡水刷毛；所述前安装台上套接有前挡水外框；所述前挡水外框后侧开设有进出线口；所述进出线口上连接有第二挡水刷毛。本实用新型通过后挡水外框、前挡水外框、第一挡板以及防水侧框阻挡冷却液的飞溅。
一种卧式金刚切割机

[实用新型]一种与石英舟一体式的保温结构-CN202321040042.9有效
发明人：王卫良;李士昌;刘超平;傅镓炜 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种与石英舟一体式的保温结构，包括透明的石英管、托架以及石英舟，石英管以及石英舟搁置于托架上方，石英管套于石英舟外侧；石英舟包括石英舟本体以及连接于石英舟本体下方的保温架，石英舟本体与保温架为一体，保温架上可拆卸连接有不透明的石英板；本实用新型通过将石英舟本体与保温架一体设计，在装配上只需将石英舟单独进行装配即可，其较为方便，且石英板采用可拆卸连接，方便石英板的更换；而在石英管下半部的利用上，保温架位于石英管下半部内，其石英管下半部利用率较高。
一种石英体式保温结构

[发明专利]一种倾斜气孔的加工工艺及其加工设备-CN202310748100.1在审
发明人：王卫良;李士昌;刘超平;蒋建新 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B28D1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种倾斜气孔的加工工艺及其加工设备，包括：步骤S001，气孔进入点加工：计算出加工进入点的坐标；石英下板水平放置，通过数控机床在石英下板上加工出所有的进入点的印记；步骤S002，倾斜气孔加工：石英下板通过气孔加工装置配合所述标记逐一加工出所有的倾斜气孔；步骤S003，导气槽加工：石英下板首先通过铣磨一体装置对远离进入点的端面上加工出导气槽，然后再通过铣磨一体装置对导气槽磨边去毛刺。本发明首先在石英下板上加工出进入点的印记，有效确定倾斜气孔的位置，同时避免钻头滑动，使得倾斜气孔加工准确，在石英下板远离进入点的端面上加工导气槽，可把崩坏的倾斜气孔的出口处消除掉，到达提高石英下板的质量。
一种倾斜气孔加工工艺及其设备

[发明专利]一种非接触式石英吸盘的制作工艺及其加工设备-CN202310603423.1在审
发明人：王卫良;李士昌;刘超平;蒋建新 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
申请日： 2023-05-25 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C09J5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种非接触式石英吸盘的制作工艺及其加工设备，英吸盘包括片状的吸盘上板和片状的吸盘下板；吸盘下板的上端面上成型有出气流导槽；出气流导槽的底面上成型有若干上下开口的倾斜出气孔；吸盘上板通过无机胶水粘合在吸盘下板的上端面上；石英吸盘加工时首先在吸盘下板的一个表面上加工出气流导槽和倾斜出气孔、在吸盘上板上加工出进气孔，然后通过无机胶水粘合吸盘下板和吸盘上板，最后进行烧结，这样的加工方式气道加工方便，同时吸盘整体的厚度较薄，可以适应狭小的工作环境；同时通过烧结的方式使得吸盘耐高温；无机胶水的使用不光增加了吸盘整体强度，同时无机胶水不会产生小颗粒，避免小颗粒刮伤硅片。
一种接触石英吸盘制作工艺及其加工设备

[发明专利]一种用于硅片转移的非接触式石英吸盘-CN202310750191.2在审
发明人：王卫良;李士昌;刘超平;蒋建新 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于硅片转移的非接触式石英吸盘，两组内侧喷气组位于外侧喷气组和进气孔之间；外侧喷气组包括一对外喷气孔；内侧喷气组包括一对内喷气孔；外侧喷气组的一对外喷气孔相对于石英吸盘本体的对称中心面对称设置；内侧喷气组的一对内喷气孔相对于石英吸盘本体的对称中心面对称设置；中间喷气孔位于靠近进气孔的内侧喷气组的一对内喷气孔的正中间；中间喷气孔的旋转中心轴位于对称中心面上；内喷气孔、外喷气孔和中间喷气孔倾斜设置；外喷气孔自上而下逐渐远离对称中心面和进气孔；内喷气孔自上而下逐渐远离对称中心面且自上而下逐渐靠近进气孔；中间喷气孔自上而下逐渐靠近进气孔。本发明满足硅片转移的所有要求，实现硅片无损转移。
一种用于硅片转移接触石英吸盘

[发明专利]一种细长石英管的磨削方法及其加工设备-CN202310613930.3在审
发明人：王卫良;李士昌;刘超平;蒋建新 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
申请日： 2023-05-25 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B24B5/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种细长石英管的磨削方法及其加工设备，具体包括如下步骤：步骤S001，石英管安装：通过石蜡把石英管两端分别与两侧的金属顶尖粘连成一体；步骤S002，石英管外圆柱面加工：两侧的金属顶尖同步旋转带动石英管旋转，通过数控机床径向补偿控制第一刀具加工石英管的外圆柱面；步骤S003，石英管圆锥面加工：通过圆锥面加工设备对石英管进行圆锥面加工：首先圆锥面加工设备的竖直限位机构夹持住石英管接近圆锥面加工端的部分，此时保持石英管竖直设置并且圆锥面加工端朝上，然后圆锥面加工设备的磨削装置对石英管的圆锥面加工端进行圆锥面加工。本发明加工的石英管符合设计要求，提高了石英管的成品合格率和质量。
一种细长石英管磨削方法及其加工设备

[发明专利]一种半导体扩散设备的石英部件加工用夹具及研磨设备-CN202210809983.8有效
发明人：王卫良;李士昌;刘超平;郑飞;戴瀚焘 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B24B19/22 文献下载
摘要：本申请涉及一种半导体扩散设备的石英部件加工用夹具及研磨设备，涉及半导体加工的技术领域，包括机座、底盘、设置在机座上的驱动装置，底盘上设置有夹持装置，夹持装置包括移动盘，移动盘设置在底盘上；移动块，移动块滑移设置在移动盘上；多个夹持块，多个夹持块分别设置在多个移动块上；移动机构，移动机构设置在移动盘上。本申请通过移动机构启动带动多个夹持块夹紧原料，然后驱动装置启动带动原料靠近研磨设备，研磨设备启动对原料进行加工，从而使得原料与研磨设备接触时力度均衡，降低了原料加工过程中发生崩边现象的概率，提高了产品的质量。
一种半导体扩散设备石英部件工用夹具研磨

[发明专利]一种大直径石英管底部封口成型的方法及其对接装置-CN202310437454.4在审
发明人：王卫良;李士昌;刘超平;曹飞 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C03B23/13 文献下载
摘要：本发明提供了一种大直径石英管底部封口成型的方法通过真空夹具夹持石英板中心，并通过石墨棒对石英板由外到内进行弯曲，直至石英板加工至弧形的石英管底面；在石英管底面的加工上，石英管底面采用单独加工，其石英管底面的厚薄度更容易控制；其次在管体以及石英管底面的对接上，对接过程中需持续加热并不断小幅拉升挤压，通过不断小幅拉升挤压使其融合更为充分，对接成型后更为牢固；本发明还提供了一种大直径石英管底部封口成型的对接装置，通过推动机构推动真空夹具横向左右移动，使管体以及石英管底面在对接过程中不断小幅拉升挤压，使其融合完全。
一种直径石英管底部封口成型方法及其对接装置

[发明专利]一种半导体石英板材无缝弯曲设备-CN202310146564.5在审
发明人：王卫良;李士昌;刘超平;蒋建新;戴瀚焘 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C03B23/023 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体石英板材无缝弯曲设备，炙烤装置包括设置在一对竖直支撑板的左部上方的炙烤组件；还包括弯曲装置和冷却装置；弯曲装置包括左右移动设置在一对竖直支撑板左部之间的“凵”字型的左右移动座；左右移动座的开口内竖直移动设置有“凵”字型的竖直移动座；竖直移动座的一对竖直部上端之间成型有弯曲导向辊；左右移动座的上端之间旋转设置有折弯组件；折弯组件包括旋转设置在左右移动座的上端之间的折弯支座和设置在折弯支座上的折弯驱动板；冷却装置设置在一对竖直支撑板的左上端之间并且用于冷却弯曲导向辊和水平状态的折弯驱动板。本发明具有使得加工所得的半导体石英板材的弯曲部分不留缝隙并且光滑的效果。
一种半导体石英板材无缝弯曲设备

[发明专利]一种半导体用石英圆环一次成型加工设备-CN202211318154.6在审
发明人：王卫良;李士昌;刘超平;蒋建新;戴瀚焘 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C03B33/04 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备，公开了一种半导体用石英圆环一次成型加工设备，包括机箱、升降安装于机箱内的升降头、转动安装于升降头上的旋转主轴、固定于旋转主轴上的环切刀头，所述环切刀头包括用于与旋转主轴相连接的连接段、与连接段相固定的外环刀以及内环刀，所述外环刀与内环刀之间呈同心环套设分布；本发明内、外环刀同心分布的双刀头式的环切刀头能够通过一次加工获得同心度较好的石英圆环，既实现石英圆环加工精度的提高，又实现石英圆环加工效率的提升，并且联动形式的锁定机构能够方便快捷地对环切刀头进行拆装，从而提高环切刀头的更换效率。
一种半导体石英圆环一次成型加工设备

[发明专利]一种石英玻璃连熔炉-CN202110561439.1有效
发明人：程东卫;雍蓉蓉 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
申请日： 2021-05-22 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： C03B5/08 文献下载
摘要：本发明涉及炼熔炉技术领域，具体为一种石英玻璃连熔炉，包括坩埚主体，所述坩埚主体的上端外表面中心位置开设有进料口，所述坩埚主体的下端外表面中心位置开设有出料口，所述坩埚主体的内部靠近出料口的位置活动连接有切刀，所述坩埚主体的环形外表面靠近下端的位置固定连接有固定板。本发明通过设置转动机构，使第一组进入模具的玻璃液有足够的冷却时间，且冷却时间内玻璃液不间断的进入到模具内，使该装置可继续进行生产，提高了该装置的工作效率，通过设置第二通槽与限位环相互贴合从而对模具进行限位，并通过卡槽与限位杆相互吻合对模具进行固定，方便对模具进行拆卸安装操作，提高了产品的生产质量。
一种石英玻璃熔炉

[发明专利]一种用于硅片线切割的切割设备-CN202110038056.6有效
发明人：余友宇 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
申请日： 2021-01-12 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于硅片线切割的切割设备，包括机身，所述机身内设有加工腔，所述加工腔下侧壁体设有切割腔，所述加工腔左右侧的所述机身内设有用于硅棒切割的硅棒切割装置，所述硅棒切割装置包括设置于所述机身下侧的带轮腔一；本发明设有硅棒切割装置，能够通过放线轮和收线轮进行金刚丝的收放线，其中，通过导线轮转轴进行传导，然后通过导轮进行金刚线的转动缠绕，从而实现对向下运输的硅棒进行线切割，且金刚线的收放和硅棒的运输能够同步进行，从而使切割效率大大提高；本发明设有散热装置，能够通过喷头送出冷却液，然后通过导流槽倒流进行切割散热，然后通过过滤网进行冷却液的回收，从而实现冷却液的回收利用。
一种用于硅片切割设备

[实用新型]一种半导体扩散炉保温翅片及保温桶-CN202221935836.7有效
发明人：王卫良;李士昌;刘超平;姜永峰 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司;盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2022-07-23 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： C30B31/06 文献下载
摘要：本申请涉及一种半导体扩散炉保温翅片及保温桶，其包括两块透明石英玻璃片和一块不透明石英玻璃片，两所述透明石英玻璃片分别固定设置在所述不透明石英玻璃片的两侧，且所述透明石英玻璃片的侧壁与所述不透明石英玻璃片的侧壁贴合。本申请能够增强保温翅片的耐腐蚀性，具有提高保温翅片的使用寿命的效果。
一种半导体扩散保温保温桶

[实用新型]半导体外延机石英板弯曲加工用的装置-CN202221796087.4有效
发明人：王卫良;李士昌;刘超平;曹飞 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C03B23/03 文献下载
摘要：本申请涉及一种半导体外延机石英板弯曲加工用的装置，包括热压机构、加热炉、冷却框、滑动组件，热压机构包括机架、定模、动模、驱动动模向定模移动的驱动件、用于将石英板脱模的脱模组件，且定模上设有与石英穹顶相适配的型腔，动模上设有与石英穹顶相适配的型芯。使用时，将大于等于石英板穹顶厚度的石英板放置于定模上，热压机构进入加热炉加热软化后，驱动件驱动动模沿竖直方向向定模移动下压，动模上的型芯与定模的型腔相靠近，将石英板压制成穹顶形状后，通过滑动组件将热压机构移动至冷却框进行冷却，冷却的同时通过脱模组件使石英板穹顶脱模取出，减少了石英板穹顶加工制造过程的耗材耗时。
半导体外延石英弯曲工用装置

[实用新型]一种半导体外延生长炉支架及其焊接工装-CN202221394553.6有效
发明人：王卫良;李士昌;刘超平;曹飞;戴瀚焘 -专利权人： 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种半导体外延生长炉支架及其焊接工装，包括支撑杆以及焊接在支撑杆一端上的若干支撑臂，支撑臂朝向背离支撑杆的方向倾斜延伸，支撑臂背离支撑杆的一端上设有顶杆，顶杆与支撑杆平行且背离支撑臂的一端面位于同一平面内。本申请具有将分别经过精加工后的支撑臂和支撑杆通过焊接进行连接形成支架，由于单独的支撑臂及支撑杆形状较为简单，使得单独加工支撑臂及支撑杆时装夹较方便，提高了加工效率，且夹持工装制造的成本较低的效果。
一种半导体外延生长支架及其焊接工装

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