[发明专利]电容器结构以及其制作方法在审
| 申请号： | 202110598854.4 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN115483197A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 叶治东;李光璧;廖文荣 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L49/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种电容器结构以及其制作方法，其中该电容器结构包括绝缘层与电容器单元。电容器单元设置在绝缘层上，且电容器单元包括第一电极、第二电极、第一介电层以及图案化导电层。第二电极在垂直方向上设置在第一电极之上。第一介电层在垂直方向上设置在第一电极与第二电极之间。图案化导电层设置在第一电极与第二电极之间，图案化导电层与第一电极电连接，且第一介电层在水平方向上围绕图案化导电层。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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