[发明专利]光电芯片的三维封装方法及封装结构有效
申请号: | 202110480406.4 | 申请日: | 2021-04-30 |
公开(公告)号: | CN113241329B | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 江卢山;孟怀宇;沈亦晨 | 申请(专利权)人: | 杭州光智元科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/66;H01L25/16;H01L21/50 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈金林 |
地址: | 311121 浙江省杭州市余*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本公开提供了一种光电芯片的三维封装方法及封装结构。该方法包括:在光芯片的第一表面的第一区域上固定电芯片;在光芯片的第一表面的第二区域上固定裸芯片,其中光芯片在第二区域处设置有光耦合接口,裸芯片具有单面开口的空腔,空腔的开口面对光耦合接口并覆盖光耦合接口;在固定了电芯片和裸芯片的光芯片上形成注塑材料层,使得注塑材料层覆盖电芯片、裸芯片和光芯片的第一表面的裸露区域;减薄注塑材料层、电芯片和裸芯片,使得裸芯片的空腔上下贯通;以及将光芯片的第二表面固定到封装基板上。 | ||
搜索关键词: | 光电 芯片 三维 封装 方法 结构 | ||
【主权项】:
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