[发明专利]边缘对准方法

摘要

本发明提供边缘对准方法，高精度地推定被加工物的边缘的位置。边缘对准方法具有如下步骤：坐标计算步骤，在被加工物的周向上，算在被加工物的外周部的不同的多个部位的各个部位处计算有可能与被加工物的边缘对应的一个点的坐标；近似圆生成步骤，对计算出的所有坐标使用最小二乘法来生成近似圆；误检测位置排除步骤，计算所生成的近似圆与所有坐标中的各个坐标之间的偏移量，在存在偏移量为预先设定的阈值以上的坐标的情况下，将偏移量最大的坐标判定为误检测位置，并将判定为误检测位置的坐标从考虑对象中排除；和加工区域推断步骤，根据未被排除而剩余的3个以上的坐标来推定被加工物的边缘的位置，并根据所推定的边缘的位置推断加工区域。