[其他]用于半导体计量或检测系统的阻尼器

摘要

本申请公开了一种用于半导体计量或检测系统的阻尼器，该阻尼器包括一对平行板，其中在板之间保持有粘度可变的流体。至少一条导线设置在这些板之间，这些板可包括一组或多组凸台和凹槽。在一些具体实施中，两个板均包括相互啮合的凸台和凹槽。控制器被配置为向该至少一条导线提供电流，以便调节通过该流体的电磁场或电流。该流体可以是磁流变流体或电流变流体，其中该流体的该粘度可基于通过该流体的该电磁场或该电流而变化。该控制器改变施加到该导线的该电流以调节该流体的该粘度，以基于台的移动来改变该半导体计量或检测系统的阻尼。