[其他]用于半导体计量或检测系统的阻尼器

说明书

本申请公开了一种用于半导体计量或检测系统的阻尼器，该阻尼器包括一对平行板，其中在板之间保持有粘度可变的流体。至少一条导线设置在这些板之间，这些板可包括一组或多组凸台和凹槽。在一些具体实施中，两个板均包括相互啮合的凸台和凹槽。控制器被配置为向该至少一条导线提供电流，以便调节通过该流体的电磁场或电流。该流体可以是磁流变流体或电流变流体，其中该流体的该粘度可基于通过该流体的该电磁场或该电流而变化。该控制器改变施加到该导线的该电流以调节该流体的该粘度，以基于台的移动来改变该半导体计量或检测系统的阻尼。

相关专利申请的交叉引用

本专利申请根据35 USC§119要求于2019年5月24日提交的名称为“ACTIVEADAPTIMETER FOR SELECTRONIC METROLOGY AND DETECTION SYSTEMS”的美国非临时专利申请第16/422,511号的优先权，该专利申请全文以引用方式并入本文。

技术领域

本申请公开了一种用于半导体计量或检测系统的隔振系统，并且更具体地涉及有源受控阻尼器。

背景技术

半导体和其他类似工业通常使用计量或检测装备以用于在加工过程期间对衬底进行评估。需要计量或检测装备来测量极其小的晶片上的物理参数或者检测其缺陷，并且相应地计量或检测装备必然是敏感仪器。计量和检测装备的灵敏度使得装备对来自外部源和内部源的振动敏感。例如，在来自底板的振动下计量和检测装备可对评估结果产生不利影响。另外，来自内部源的振动诸如移动晶片台也可对评估结果产生不利影响，并且可能由于需要在每次台移动之后等待振动消散而减小吞吐量。例如，在具有周期性台移动(例如，台从测量位点移动到测量位点，或连续台移动)的系统中，来自台加速的反作用力激励系统中的关键部件的谐振频率，从而需要延迟测量直到振动水平减小，因此降低了系统的吞吐量。因此，期待减少计量或检测装备所经历的振动量，并且减少因等待振动消散而引起的测量延迟。

实用新型内容

本申请公开了一种用于半导体计量或检测系统的阻尼器，该阻尼器包括一对平行板，其中在板之间保持有粘度可变的流体。至少一条导线设置在这些板之间，这些板可包括一组或多组凸台和凹槽。在一些具体实施中，两个板均包括相互啮合的凸台和凹槽。控制器被配置为向该至少一条导线提供电流，以便调节通过该流体的电磁场或电流。该流体可以是磁流变流体或电流变流体，其中该流体的该粘度可基于通过该流体的该电磁场或该电流而变化。该控制器改变施加到该导线的该电流以调节该流体的该粘度，以基于台的移动来改变该半导体计量或检测系统的阻尼。

在一个具体实施中，用于半导体计量或检测系统的阻尼器包括：第一板，该第一板具有沿着第一平面延伸的第一表面；第二板，该第二板具有沿着与该第一平面平行的第二平面延伸的第二表面，其中该第一板和该第二板中的一者被配置为安装到该半导体计量或检测系统；至少一条导线，该至少一条导线设置在该第一板和该第二板之间；粘度可变的流体，该粘度可变的流体保持在该第一板和该第二板之间；和控制器，该控制器耦接到该至少一条导线并且被配置为向该至少一条导线提供电流以改变该流体的该粘度，以调节提供给该半导体计量或检测系统的阻尼量。

在一个具体实施中，主动抑制半导体计量或检测系统的振动的方法包括：提供第一板和第二板，其中该第一板具有沿着第一平面延伸的第一表面，并且该第二板具有沿着与该第一平面平行的第二平面延伸的第二表面，其中该第一板和该第二板中的一者被安装到该半导体计量或检测系统，其中至少一条导线设置在该第一板和该第二板之间，并且粘度可变的流体保持在该第一板和该第二板之间；增加该至少一条导线中的电流以增加位于该第一板和该第二板之间的该流体的该粘度，从而增加提供给该半导体计量或检测系统的阻尼量；以及减小该至少一条导线中的该电流以减小位于该第一板和该第二板之间的该流体的该粘度，以减小提供给该半导体计量或检测系统的该阻尼量。