[其他]用于半导体计量或检测系统的阻尼器

权利要求书

1.一种用于半导体计量或检测系统的阻尼器，其特征在于，所述阻尼器包括：

第一板，所述第一板具有沿着第一平面延伸的第一表面；

第二板，所述第二板具有沿着与所述第一平面平行的第二平面延伸的第二表面，其中所述第一板和所述第二板中的一者被配置为安装到所述半导体计量或检测系统；

至少一条导线，所述至少一条导线设置在所述第一板和所述第二板之间；

流体，所述流体具有可变的粘度，并且所述流体保持在所述第一板和所述第二板之间；和

控制器，所述控制器耦接到所述至少一条导线并且被配置为向所述至少一条导线提供电流以改变所述流体的所述粘度，以调节提供给所述半导体计量或检测系统的阻尼量。

2.根据权利要求1所述的阻尼器，其特征在于，还包括：

无源隔离安装件，所述无源隔离安装件被配置为安装到所述半导体计量或检测系统。

3.根据权利要求2所述的阻尼器，其特征在于，所述第一板和所述第二板中的一者与所述无源隔离安装件都被配置为安装在所述半导体计量或检测系统和框架或地之间，并且其中所述无源隔离安装件支撑所述半导体计量或检测系统。

4.根据权利要求2所述的阻尼器，其特征在于，所述无源隔离安装件包括弹簧安装件、弹性体安装件或空气隔离器。

5.根据权利要求1所述的阻尼器，其特征在于，所述控制器被配置为当在所述半导体计量或检测系统中的台移动时增加所述阻尼量以及在所述台不移动时减小所述阻尼量。

6.根据权利要求1所述的阻尼器，其特征在于，还包括侧壁，所述侧壁围绕所述第一板和所述第二板并保持所述流体。

7.根据权利要求6所述的阻尼器，其特征在于，所述侧壁是挠性的并且连接在所述第一板和所述第二板之间。

8.根据权利要求1所述的阻尼器，其特征在于，所述流体包括电流变流体或磁流变流体。

9.根据权利要求1所述的阻尼器，其特征在于，所述第一板包括在所述第二表面中的第一组凸台和凹槽。

10.根据权利要求9所述的阻尼器，其特征在于，所述至少一条导线设置在所述第一组凸台和凹槽的所述凹槽中。

11.根据权利要求9所述的阻尼器，其特征在于，所述第二板包括在所述第二表面中的第二组凸台和凹槽。

12.根据权利要求11所述的阻尼器，其特征在于，来自所述第一组凸台和凹槽的所述凸台配合在所述第二组凸台和凹槽的所述凹槽内，并且来自所述第二组凸台和凹槽的所述凸台配合在所述第一组凸台和凹槽的所述凹槽内。

13.根据权利要求9所述的阻尼器，其特征在于，所述第一表面中的所述第一组凸台和凹槽以螺旋形状、多个同心圆或线中的一种形式在所述第一表面上延伸。

14.根据权利要求1所述的阻尼器，其特征在于，所述阻尼器为所述半导体计量或检测系统提供具有六自由度的阻尼。

15.一种用于半导体计量或检测系统的阻尼器，其中，所述半导体计量或检测系统具有移动的台，其特征在于，所述阻尼器包括：

一对平行板，其中所述板中的一个板被配置为安装到所述半导体计量或检测系统；

至少一条导线，所述至少一条导线设置在所述平行板之间；

流体，具有可变的粘度，所述流体保持在所述一对平行板之间；和

用于改变施加到所述至少一条导线的电流以调节所述流体的所述粘度，以基于所述台的移动来改变所述半导体计量或检测系统的阻尼的装置。