[发明专利]研磨用组合物在审
| 申请号： | 202080067989.1 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN114450376A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 谷口惠;土屋公亮 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供一种研磨用组合物，其可达成兼具高的研磨速率以及HLM周缘的隆起消除性。研磨用组合物包含磨粒、碱性化合物、pH缓冲剂及水，作为前述pH缓冲剂，包含：酸解离常数(pKa)值的至少一者为9～11的范围的盐S |
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| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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