[发明专利]光致抗蚀剂组合物及其固化物

摘要

本发明提供光致抗蚀剂组合物，该光致抗蚀剂组合物即使利用弱碱性显影液也可进行显影，可得到高分辨率的微细图案化，并且剥离性也优异。光致抗蚀剂组合物，其特征在于：包含(A)含羧基树脂、(B)光聚合性单体和(C)热固化性成分而构成，其中，在平面基板上涂布上述光致抗蚀剂组合物使固化后的膜厚为2μm±0.5μm，在75℃、30分钟的预烘后，在大气环境下以1,000mJ/cm2的曝光量曝光包含波长375nm的紫外线1，使上述光致抗蚀剂组合物固化，然后通过在30℃下使用1wt%的Na2CO3水溶液进行180秒的显影处理而形成固化被膜1，将其表面的算术平均粗糙度Ra设为Ra1，进一步在氧环境下以25.2J/cm2的曝光量对上述固化被膜1曝光包含波长185nm和254nm的紫外线2而形成固化被膜2，将其表面的算术平均粗糙度Ra设为Ra2，在这种情况下满足式：Ra2/Ra1≤4.5×10‑1。