[发明专利]移动气泡的方法无效
申请号: | 200610108231.X | 申请日: | 2006-08-01 |
公开(公告)号: | CN101118389A | 公开(公告)日: | 2008-02-06 |
发明(设计)人: | 侯雅菁;曾焕廷;林思闽;卢柏州;黄永发;尤春祺 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01L21/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种移动气泡的方法,利用激光镊夹于光致抗蚀剂层中产生光致抗蚀剂层亮区和光致抗蚀剂层暗区,使得光致抗蚀剂层中的气泡,从光致抗蚀剂层亮区移往光致抗蚀剂层暗区。 | ||
搜索关键词: | 移动 气泡 方法 | ||
【主权项】:
1.一种移动气泡的方法,该些气泡位于光致抗蚀剂层中,该方法包括:利用激光镊夹于该光致抗蚀剂层中产生光致抗蚀剂层亮区和光致抗蚀剂层暗区,使得该些气泡从该光致抗蚀剂层亮区移往该光致抗蚀剂层暗区。
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