[实用新型]一种半导体硅片电泳装置

摘要

本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种半导体硅片电泳装置，包括电泳池，所述电泳池的底部固定连接有第一电机，所述电泳池的内底壁转动连接有主轴。该半导体硅片电泳装置，通过设置第一电机、主轴、限位滑块、转套、放置臂、片仓、弹簧、连杆、压板、通水槽、第二电机、驱动轴、齿轮和齿板，将硅片放入片仓中，硅片挤压压板，使得弹簧压缩，弹簧的回弹力使得压板夹持住硅片，启动第一电机，主轴带动转套转动，使得各个放置臂在水中旋转，电泳池中的溶液通过通水槽开始冲刷硅片，解决了当前半导体硅片在电泳时，在电泳池中静置，导致金属离子在其表面聚集的速度过慢，且涂漆层不够完全，容易出现瑕疵的问题。