[实用新型]一种半导体硅片电泳装置

权利要求书

1.一种半导体硅片电泳装置，包括电泳池(1)，其特征在于：所述电泳池(1)的底部固定连接有第一电机(2)，所述电泳池(1)的内底壁转动连接有主轴(3)，所述主轴(3)的侧表面固定连接有限位滑块(4)，所述主轴(3)的侧表面设有转套(5)，所述转套(5)与限位滑块(4)滑动连接，所述转套(5)的侧表面固定连接有放置臂(6)，所述放置臂(6)的数量为四个，所述放置臂(6)的顶部开设有片仓(7)，所述片仓(7)的侧内壁开设有内滑槽(8)，所述内滑槽(8)的内部设有弹簧(9)；

所述内滑槽(8)的内部滑动连接有连杆(10)，所述连杆(10)远离弹簧(9)的一端固定连接有压板(11)，所述片仓(7)的宽侧内壁开设有通水槽(12)，所述主轴(3)的内部开设有传动槽(14)，所述传动槽(14)的内部转动连接有驱动轴(15)，所述驱动轴(15)的侧表面固定连接有齿轮(16)，所述主轴(3)的正面固定连接有第二电机(13)，所述第二电机(13)的输出端与驱动轴(15)的前端固定连接，所述转套(5)的顶部固定连接有齿板(17)，所述齿板(17)与齿轮(16)传动连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体硅片电泳装置，其特征在于：所述转套(5)的侧内壁开设有滑道，所述限位滑块(4)延伸至滑道内部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体硅片电泳装置，其特征在于：相邻的两个所述放置臂(6)之间夹角相同。

4.根据权利要求1所述的一种半导体硅片电泳装置，其特征在于：所述压板(11)的内部开设有凹槽，所述压板(11)内部凹槽的侧内壁开设有通孔。

5.根据权利要求1所述的一种半导体硅片电泳装置，其特征在于：所述内滑槽(8)侧内壁开设内滑道，所述连杆(10)的侧表面固定连接有凸滑块，所述连杆(10)的凸滑块延伸至内滑槽(8)内滑道中。

6.根据权利要求1所述的一种半导体硅片电泳装置，其特征在于：所述电泳池(1)的正面固定连接有水泵(21)，所述水泵(21)的进水口和出水口均连通有导流管(20)，所述电泳池(1)的右侧内壁固定连接有第一循环口(19)，所述第一循环口(19)的左端连通有喷口(18)，所述第一循环口(19)的右端与位于右侧所述导流管(20)连通，所述电泳池(1)的左侧内壁固定连接有第二循环口(22)，所述第二循环口(22)与位于左侧所述导流管(20)连通。