[实用新型]一种多复合层图形化蓝宝石衬底

摘要

本实用新型公开了一种多复合层图形化蓝宝石衬底，包括使用AL2O3材料制成的衬底，衬底的顶部铺设有ALN材料制成的薄膜，薄膜的顶部设有多个经过黄光和刻蚀形成的圆锥体，圆锥体包括上下分层的SiO2部和ALN部，且SiO2部位于ALN部的上方；设光线在薄膜中的波长为λ，薄膜的厚度为h，那么薄膜的厚度h≥λ/4；本实用新型设置的AlN薄膜可增加光线正面出光率，进一步提高光效，并解决了蓝宝石和GaN之间因较大的晶格失配而导致的应变，提高了外延生长质量；本实用新型中的SiO2结构有利于GaN生长过程中衬底C面和图形斜面的表面势能差值的提高，能有效地阻挡穿透位错往上延伸，改善量子阱发光区的晶体质量，提升了LED的内量子效率。