[发明专利]一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房在审
| 申请号： | 202011589200.7 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112797560A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 | 申请（专利权）人： | 浙江中电环境科技有限公司 |
| 主分类号： | F24F8/158 | 分类号： | F24F8/158;F24F8/20;F24F13/28;A62C3/02;A62C31/03;E04H5/02 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王家蕾 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于厂房技术领域，尤其为一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房，包括地面，所述地面的顶部固定连接有厂房本体，所述厂房本体的内部固定连接有挡板，所述挡板的顶部固定连接有净化箱，所述挡板的顶部固定连接有吸风机，所述吸风机的输入端与厂房本体连通，所述吸风机的输出端与净化箱连通，所述净化箱的内壁固定连接有夹板。本发明通过吸风机的设置，可将空气吸入净化箱内，利用第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网的灭菌作用，对空气进行净化，增加厂房质量，配合防尘网的吸附效果，可将灰尘进行去除，进一步加强净化效果，通过螺栓，使防尘网、第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网可以拆卸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 半导体 生产 洁净 厂房 | ||
【主权项】：
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