[发明专利]一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房

权利要求书

1.一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房，包括地面(1)，其特征在于：所述地面(1)的顶部固定连接有厂房本体(2)，所述厂房本体(2)的内部固定连接有挡板(3)，所述挡板(3)的顶部固定连接有净化箱(4)，所述挡板(3)的顶部固定连接有吸风机(5)，所述吸风机(5)的输入端与厂房本体(2)连通，所述吸风机(5)的输出端与净化箱(4)连通，所述净化箱(4)的内壁固定连接有夹板(6)，两个所述夹板(6)之间滑动连接有防尘网(7)，两个所述夹板(6)之间滑动连接有第一活性炭杀菌网(8)，两个所述夹板(6)之间滑动连接有第二活性炭杀菌网(9)，所述净化箱(4)的一侧固定连接有出气管(11)，所述出气管(11)的另一端与厂房本体(2)连通，所述厂房本体(2)的一侧固定连接有电机(12)，所述电机(12)的输出轴固定连接有螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)的外表面螺纹连接有螺纹块(14)，所述地面(1)的顶部固定连接有水箱(15)，所述水箱(15)的顶部固定连接有抽水泵(16)，所述抽水泵(16)的输入端与水箱(15)连通，所述抽水泵(16)的输出端通过软管(17)固定连接有喷头(18)，所述喷头(18)与螺纹块(14)固定连接；

所述净化箱(4)的正面通过合页转动连接有拉门(19)，所述拉门(19)的一侧固定连接有把手。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房，其特征在于：所述厂房本体(2)的内部固定连接有限位杆(20)，所述限位杆(20)的外表面滑动连接有套筒(21)，所述套筒(21)与螺纹块(14)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房，其特征在于：所述水箱(15)的顶部固定连接有进水口(22)，所述进水口(22)的形状为圆台形。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房，其特征在于：所述电机(12)的外表面固定连接有保护罩，保护罩为圆形。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房，其特征在于：所述夹板(6)的内部螺纹连接有螺栓(10)，所述螺栓(10)分别与防尘网(7)、第一活性炭杀菌网(8)、第二活性炭杀菌网(9)螺纹连接。