[发明专利]一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房在审

专利信息
申请号: 202011589200.7 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112797560A 公开(公告)日: 2021-05-14
发明(设计)人: 鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 申请(专利权)人: 浙江中电环境科技有限公司
主分类号: F24F8/158 分类号: F24F8/158;F24F8/20;F24F13/28;A62C3/02;A62C31/03;E04H5/02
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 王家蕾
地址: 314000 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 碳化硅 半导体 生产 洁净 厂房
【说明书】:

本发明属于厂房技术领域,尤其为一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房,包括地面,所述地面的顶部固定连接有厂房本体,所述厂房本体的内部固定连接有挡板,所述挡板的顶部固定连接有净化箱,所述挡板的顶部固定连接有吸风机,所述吸风机的输入端与厂房本体连通,所述吸风机的输出端与净化箱连通,所述净化箱的内壁固定连接有夹板。本发明通过吸风机的设置,可将空气吸入净化箱内,利用第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网的灭菌作用,对空气进行净化,增加厂房质量,配合防尘网的吸附效果,可将灰尘进行去除,进一步加强净化效果,通过螺栓,使防尘网、第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网可以拆卸。

技术领域

本发明涉及厂房技术领域,具体为一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房。

背景技术

金刚砂又名碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成,碳化硅在大自然也存在罕见的矿物,莫桑石,碳化硅又称碳硅石,在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种,可以称为金钢砂或耐火砂,如中国专利申请号为:CN201821321043.X,本实用新型公开了一种水漆生产用通风厂房,包括设置在厂房顶部的排风管,所述排风管上连接有多个伞状风罩,所述排风管上还经三通管连接有侧吸风管,所述侧吸风管上连接有配合集料桶的侧吸风罩,所述厂房的底部铺设有进风管,进风管上开设有多个风口,所述进风管与厂房外部的进风机连通,所述排风管伸出厂房设置,排风管与排风机相连。

目前洁净厂房存在以下问题:

1、不便将空气进行净化,使得厂房内的空气质量下降,影响工作环境;

2、在发生火灾时,不便及时进行灭火,对工作人员造成一定的危险性。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本发明提供了一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房,解决了现有技术中,不便将空气进行净化、以及不便及时进行灭火的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房,包括地面,所述地面的顶部固定连接有厂房本体,所述厂房本体的内部固定连接有挡板,所述挡板的顶部固定连接有净化箱,所述挡板的顶部固定连接有吸风机,所述吸风机的输入端与厂房本体连通,所述吸风机的输出端与净化箱连通,所述净化箱的内壁固定连接有夹板,两个所述夹板之间滑动连接有防尘网,两个所述夹板之间滑动连接有第一活性炭杀菌网,两个所述夹板之间滑动连接有第二活性炭杀菌网,所述净化箱的一侧固定连接有出气管,所述出气管的另一端与厂房本体连通,所述厂房本体的一侧固定连接有电机,所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的外表面螺纹连接有螺纹块,所述地面的顶部固定连接有水箱,所述水箱的顶部固定连接有抽水泵,所述抽水泵的输入端与水箱连通,所述抽水泵的输出端通过软管固定连接有喷头,所述喷头与螺纹块固定连接。

作为本发明的一种优选技术方案,所述净化箱的正面通过合页转动连接有拉门,所述拉门的一侧固定连接有把手。

作为本发明的一种优选技术方案,所述厂房本体的内部固定连接有限位杆,所述限位杆的外表面滑动连接有套筒,所述套筒与螺纹块固定连接。

作为本发明的一种优选技术方案,所述水箱的顶部固定连接有进水口,所述进水口的形状为圆台形。

作为本发明的一种优选技术方案,所述电机的外表面固定连接有保护罩,保护罩为圆形。

作为本发明的一种优选技术方案,所述夹板的内部螺纹连接有螺栓,所述螺栓分别与防尘网、第一活性炭杀菌网、第二活性炭杀菌网螺纹连接。

(三)有益效果

与现有技术相比,本发明提供了一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房,具备以下有益效果:

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