[发明专利]一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房在审
申请号: | 202011589200.7 | 申请日: | 2020-12-29 |
公开(公告)号: | CN112797560A | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 | 申请(专利权)人: | 浙江中电环境科技有限公司 |
主分类号: | F24F8/158 | 分类号: | F24F8/158;F24F8/20;F24F13/28;A62C3/02;A62C31/03;E04H5/02 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 王家蕾 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 半导体 生产 洁净 厂房 | ||
本发明属于厂房技术领域,尤其为一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房,包括地面,所述地面的顶部固定连接有厂房本体,所述厂房本体的内部固定连接有挡板,所述挡板的顶部固定连接有净化箱,所述挡板的顶部固定连接有吸风机,所述吸风机的输入端与厂房本体连通,所述吸风机的输出端与净化箱连通,所述净化箱的内壁固定连接有夹板。本发明通过吸风机的设置,可将空气吸入净化箱内,利用第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网的灭菌作用,对空气进行净化,增加厂房质量,配合防尘网的吸附效果,可将灰尘进行去除,进一步加强净化效果,通过螺栓,使防尘网、第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网可以拆卸。
技术领域
本发明涉及厂房技术领域,具体为一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房。
背景技术
金刚砂又名碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成,碳化硅在大自然也存在罕见的矿物,莫桑石,碳化硅又称碳硅石,在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种,可以称为金钢砂或耐火砂,如中国专利申请号为:CN201821321043.X,本实用新型公开了一种水漆生产用通风厂房,包括设置在厂房顶部的排风管,所述排风管上连接有多个伞状风罩,所述排风管上还经三通管连接有侧吸风管,所述侧吸风管上连接有配合集料桶的侧吸风罩,所述厂房的底部铺设有进风管,进风管上开设有多个风口,所述进风管与厂房外部的进风机连通,所述排风管伸出厂房设置,排风管与排风机相连。
目前洁净厂房存在以下问题:
1、不便将空气进行净化,使得厂房内的空气质量下降,影响工作环境;
2、在发生火灾时,不便及时进行灭火,对工作人员造成一定的危险性。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本发明提供了一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房,解决了现有技术中,不便将空气进行净化、以及不便及时进行灭火的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房,包括地面,所述地面的顶部固定连接有厂房本体,所述厂房本体的内部固定连接有挡板,所述挡板的顶部固定连接有净化箱,所述挡板的顶部固定连接有吸风机,所述吸风机的输入端与厂房本体连通,所述吸风机的输出端与净化箱连通,所述净化箱的内壁固定连接有夹板,两个所述夹板之间滑动连接有防尘网,两个所述夹板之间滑动连接有第一活性炭杀菌网,两个所述夹板之间滑动连接有第二活性炭杀菌网,所述净化箱的一侧固定连接有出气管,所述出气管的另一端与厂房本体连通,所述厂房本体的一侧固定连接有电机,所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的外表面螺纹连接有螺纹块,所述地面的顶部固定连接有水箱,所述水箱的顶部固定连接有抽水泵,所述抽水泵的输入端与水箱连通,所述抽水泵的输出端通过软管固定连接有喷头,所述喷头与螺纹块固定连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述净化箱的正面通过合页转动连接有拉门,所述拉门的一侧固定连接有把手。
作为本发明的一种优选技术方案,所述厂房本体的内部固定连接有限位杆,所述限位杆的外表面滑动连接有套筒,所述套筒与螺纹块固定连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述水箱的顶部固定连接有进水口,所述进水口的形状为圆台形。
作为本发明的一种优选技术方案,所述电机的外表面固定连接有保护罩,保护罩为圆形。
作为本发明的一种优选技术方案,所述夹板的内部螺纹连接有螺栓,所述螺栓分别与防尘网、第一活性炭杀菌网、第二活性炭杀菌网螺纹连接。
(三)有益效果
与现有技术相比,本发明提供了一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房,具备以下有益效果:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江中电环境科技有限公司,未经浙江中电环境科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011589200.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。