[发明专利]光传感器及其制备方法、显示面板有效

专利信息
申请号: 202011549326.1 申请日: 2020-12-24
公开(公告)号: CN112670303B 公开(公告)日: 2023-05-02
发明(设计)人: 蔡广烁;郭力 申请(专利权)人: TCL华星光电技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77;G09F9/33;G09F9/35;G02F1/1333
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 刘泳麟
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种光传感器及其制作方法、显示面板,光传感器包括多个光传感器矩阵单元,光传感器矩阵单元包括一感应TFT、一放大TFT、一开关TFT以及一存储电容器,其中感应TFT的有源层为非晶硅,放大TFT的有源层为氧化物半导体,感应TFT与放大TFT连接,放大TFT与开关TFT连接,开关TFT控制被感应TFT探测且经过放大TFT放大的电信号的读取,当其为开启状态时,将电信号传递给信号读取电路。通过采用3T1C架构作为光传感器矩阵单元,取代了传统的2T1C架构,能够实现光传感器对弱光的探测,有效地提高了光传感器的光响应,具有高光响应和高信噪比;感应TFT和放大TFT的制备共用多道黄光工艺,既降低成本,又可充分发挥a‑Si大面积均匀性高的优势。
搜索关键词: 传感器 及其 制备 方法 显示 面板
【主权项】:
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