[发明专利]一种硅基滤波芯片及其频率偏移修正方法在审
| 申请号： | 202011424346.6 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN112466854A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 万晶;梁晓新 | 申请（专利权）人： | 昆山鸿永微波科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/66 | 分类号： | H01L23/66;H03H9/02 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 孙茂义 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山市玉山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅基滤波芯片及其频率偏移修正方法。属于滤波电路技术领域。包括：n个硅腔谐振单元，每个硅腔谐振单元包括上下依次设置的第一金属层、高阻硅介质层和第二金属层；硅腔谐振单元由贯穿第一金属层、高阻硅介质层和第二金属层的全通孔和半通孔组成，通孔侧壁溅射和电镀金；激光贯穿通孔，贯穿第一金属层、高阻硅介质层和第二金属层，分布在相邻两个硅腔谐振单元的通孔的两侧，或者相邻两个硅腔谐振单元的金属层相接处。通过激光点烧打孔在相应位置上，可将通带频率上移实现通带频率向下偏移的修正功能。具有Q值高、损耗小的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤波 芯片 及其 频率 偏移 修正 方法 | ||
【主权项】：
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