[发明专利]一种用于芯片三维封装的金属波导装置及其设计方法有效
申请号: | 202011295106.0 | 申请日: | 2020-11-18 |
公开(公告)号: | CN112530910B | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 金城;吕奇皓;张彬超;陈建宏;黎亮 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | H01L23/66 | 分类号: | H01L23/66;H01L21/52 |
代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 高会允;仇蕾安 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于芯片三维封装的金属波导装置及其设计方法,解决了利用在波导屏蔽腔体外部直流电路对集成封装于金属波导内部的芯片进行集成、控制的问题,并降低了传输中的电磁波损耗。本发明先确定该芯片工作的频率范围,根据此设计金属波导内部的空气腔的尺寸;接着设计电磁带隙波导结构的参数,包括周期性长方形金属柱的高度h,底面边长w和周期距离p,使得在空腔里传播的电磁波无法从两侧泄露,且h与空气腔的高度一致,同时尺寸满足易于加工的要求;最后根据芯片的尺寸,在电磁带隙波导结构中的预留空槽中镶嵌入芯片,并将芯片控制引线从空气腔内部途经周期性长方形金属柱之间的空隙引出,连接至PCB控制电路板上。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 芯片 三维 封装 金属 波导 装置 及其 设计 方法 | ||
【主权项】:
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