[发明专利]用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂

摘要

本发明实施例提供的一种用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂，该系统包括：N个压力传感器，N个晶圆接触器，控制器，静电发生控制器，静电发生装置；N个所述压力传感器分别与N个晶圆接触器连接，用于当确定晶圆放置到所述晶圆接触器上后，获取所述晶圆的压力值，所述压力值为N个所述压力传感器的输出值之和；所述控制器与N个所述压力传感器的输出端连接，用于根据所述压力值与预设静电控制电压模型确定对应的当前目标电压值，并利用当前目标电压值驱动所述静电发生控制器输出当前实际电压值以使所述静电发生装置产生对应的静电荷以与所述晶圆静电感应产生吸附力，实现产生各种不同工艺下，不同厚度晶圆的无滑动传输。