[发明专利]配线衬底及半导体装置在审
申请号: | 202010768154.0 | 申请日: | 2020-08-03 |
公开(公告)号: | CN113410204A | 公开(公告)日: | 2021-09-17 |
发明(设计)人: | 尾山幸史;中村三昌;佐野雄一 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/552;H01L25/18 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种配线衬底及半导体装置。一种配线衬底,具有:第1配线层,配置着高速配线;第2配线层,配置着传送比所述高速配线慢的信号的信号配线;及第3配线层,配置在所述第1配线层与所述第2配线层之间,包含电源配线或/及接地配线;且去除所述第1配线层的焊盘与所述信号配线不重叠的部分的所述电源配线或/及接地配线,将所述第1配线层的焊盘与所述信号配线重叠的部分的所述电源配线或/及接地配线以与所述信号配线重叠的方式配置。 | ||
搜索关键词: | 衬底 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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