[发明专利]一种MEMS芯片级正交信号消除装置及消除方法在审
| 申请号： | 202010452050.9 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN111486836A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 黄向向;杨敏;卢卡·卢斯基;亚力桑德罗·罗奇;关健;梁泽山;孙斯佳;张晓磊;陈琳 | 申请（专利权）人： | 罕王微电子（辽宁）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5776 | 分类号： | G01C19/5776 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 113000 辽宁省抚顺*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种MEMS芯片级正交信号消除装置，框架电极设置在框架质量块上面，质量块上面通过弹簧设置在框架质量块上，质量块下面通过阻尼器与框架质量块连接，质量块下面对应感应电极，框架质量块通过弹簧和阻尼器与外部框架连接；框架电极和框架电容转换器连接。一种MEMS芯片级正交信号消除装置的消除方法，利用一个与正交信号相关的机械信号来补偿传感元件信号中的中的正交信号，机械信号是由框架质量块沿感测方向的位移，框架质量块是陀螺仪的刚性部分，与正交信号成一定比例。本发明的优点：不需要额外的电路，降低成本。不需要修正，没有量化误差，大大节省了最终检测时间，不由于模拟前端的相位失配产生新的偏执。本质上对于正交变化不敏感。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 芯片级 正交 信号 消除 装置 方法 | ||
【主权项】：
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