专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种同轴频率调制MEMS陀螺仪-CN202020945300.8有效
  • 黄向向;杨敏;卢卡·卢斯基;关健;孙斯佳 - 罕王微电子(辽宁)有限公司
  • 2020-05-29 - 2021-03-09 - G01C19/56
  • 一种同轴频率调制MEMS陀螺仪,包括硅弹簧、锚点、内部质量块、外部质量块、感应梳齿状结构、共振微调;共振微调设置在内部质量块的四个侧面以及外部质量块的四个侧面上;四个感应梳齿状结构设置在内部质量块的周围,分别通过硅弹簧与内部质量块连接;四个感应梳齿状结构和四个锚点间隔布置成环状,之间通过硅弹簧连接,四个感应梳齿状结构分别通过硅弹簧与布置在外部质量块的四个侧面上的共振微调连接。本实用新型的优点:同轴频率调制陀螺仪有两个同轴质量块,其中一个是外部质量块为框架结构,另一个质量块为内部质量块。两个质量块具有相同的中心。这种同轴双质量块结构可以消除由于工艺和温度渐变引起的漂移,测量精度高,稳定性好。
  • 一种同轴频率调制mems陀螺仪
  • [发明专利]一种同轴频率调制MEMS陀螺仪-CN202010472675.1在审
  • 黄向向;杨敏;卢卡·卢斯基;关健;孙斯佳 - 罕王微电子(辽宁)有限公司
  • 2020-05-29 - 2020-08-07 - G01C19/56
  • 一种同轴频率调制MEMS陀螺仪,包括硅弹簧、锚点、内部质量块、外部质量块、感应梳齿状结构、共振微调;共振微调设置在内部质量块的四个侧面以及外部质量块的四个侧面上;四个感应梳齿状结构设置在内部质量块的周围,分别通过硅弹簧与内部质量块连接;四个感应梳齿状结构和四个锚点间隔布置成环状,之间通过硅弹簧连接,四个感应梳齿状结构分别通过硅弹簧与布置在外部质量块的四个侧面上的共振微调连接。本发明的优点:同轴频率调制陀螺仪有两个同轴质量块,其中一个是外部质量块为框架结构,另一个质量块为内部质量块。两个质量块具有相同的中心。这种同轴双质量块结构可以消除由于工艺和温度渐变引起的漂移,测量精度高,稳定性好。
  • 一种同轴频率调制mems陀螺仪

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