[发明专利]铁电薄膜的制备方法、铁电存储器及其制备方法

摘要

本申请实施例提供一种铁电薄膜的制备方法、铁电存储器及其制备方法。其中铁电薄膜的制备方法包括：以主元素源作为反应前驱体进行原子层沉积，将主元素沉积到衬底表面，通过控制沉积时间，以吸附衬底表面大部分自由键合点；继而使用惰性气体作为净化气体进行清除吹扫腔室；然后以掺杂元素源作为反应前驱体进行原子层沉积，使掺杂元素吸附衬底表面剩余的自由键合点；使用惰性气体作为净化气体进行清除吹扫；此时两种前驱体同时存在于衬底表面，然后使用氧化性气体一同进行氧化处理；继而使用惰性气体作为净化气体进行清除吹扫；重复以上步骤，得到目标厚度的铁电薄膜。本申请实施例的方法能够实现较好的低浓度均匀性掺杂。