[发明专利]一种MEMS 5G通讯射频天线及制作工艺在审
| 申请号： | 202010347907.0 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111430334A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 黄向向;杨敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;关健;孙斯佳 | 申请（专利权）人： | 罕王微电子（辽宁）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/66 | 分类号： | H01L23/66;H01Q1/22 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 113000 辽宁省抚顺*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种MEMS 5G通讯射频天线，包括盖帽晶圆，键合界面，衬底晶圆，微型天线，微型天线锚点，中间晶圆，薄膜滤波器，真空腔；衬底晶圆为微型天线提供基座和外接集成电路；微型天线锚点是微型天线与衬底晶圆的接触部分；中间晶圆作为圆锥侧壁的组成部分，在中间晶圆上带有开口；薄膜滤波器为在衬底晶圆上的压电薄膜，形成薄膜滤波器。一种MEMS 5G通讯射频天线的制作工艺，在硅，玻璃，III‑V半导体，GaAs,GaN等集成电路晶圆上，通过LIGA‑光刻图样，平面电印铸模的方法，通过光刻胶在半导体基底平面上形成金属天线模型。本发明的优点：从天线制成和天线脆弱性的保护两方面运用微机械设计和工艺，天线保护材料和结构，不会造成信号的衰减，性能稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 通讯 射频 天线 制作 工艺 | ||
【主权项】：
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