[发明专利]互连结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202010066800.9 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111653547A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王茂盈;施信益;吴鸿谟;丁永德;林育廷 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/538 | 分类号： | H01L23/538;H01L21/768 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳;郑特强 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开提供一种互连结构及其制备方法。该互连结构包括一第一连接线、一第二连接线以及一连接通孔。该第二连接线设置在该第一连接线的上方。该连接通孔设置在该第一连接线和该第二连接线之间的一介电结构内，并且电连接该第一连接线和该第二连接线。该连接通孔包括一头部和一主体部分，该头部的一宽度大于该主体部分的一宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 互连 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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