[发明专利]支撑管芯和包括横向移位的竖直互连的多个存储器管芯的接合组件及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201980079499.0 申请日: 2019-12-03
公开(公告)号: CN113196476A 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 瓜生达也;清水聪;藤村信行 申请(专利权)人: 桑迪士克科技有限责任公司
主分类号: H01L25/065 分类号: H01L25/065;H01L27/105;H01L27/11521;H01L27/11582
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 马爽;臧建明
地址: 美国德*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供了一种接合组件,所述接合组件包括:第一存储器管芯,所述第一存储器管芯包括第一三维存储器器件;第二存储器管芯,所述第二存储器管芯包括第二三维存储器器件;以及支撑管芯,所述支撑管芯接合到所述第一存储器管芯并且包括外围电路,所述外围电路被配置为控制所述第一三维存储器器件和所述第二三维存储器器件。所述第一存储器管芯包括多行第一管芯近侧接合垫、多行第一管芯远侧接合垫和多个第一管芯横向移位导电路径,所述多个第一管芯横向移位导电路径连接所述第一管芯近侧接合垫中的相应第一管芯近侧接合垫和所述第一管芯远侧接合垫中的相应第一管芯远侧接合垫,所述相应第一管芯远侧接合垫与所述第一管芯近侧接合垫中的所述相应第一管芯近侧接合垫横向偏移。所述第一存储器管芯和所述第二存储器管芯可具有相同的布局,并且电连接可通过所述第一存储器管芯移位所述偏移距离。
搜索关键词: 支撑 管芯 包括 横向 移位 竖直 互连 存储器 接合 组件 及其 制造 方法
【主权项】:
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