[发明专利]支撑管芯和包括横向移位的竖直互连的多个存储器管芯的接合组件及其制造方法

权利要求书

1.一种接合组件，所述接合组件包括：

第一存储器管芯，所述第一存储器管芯包括第一三维存储器器件；

第二存储器管芯，所述第二存储器管芯包括第二三维存储器器件；和

支撑管芯，所述支撑管芯接合到所述第一存储器管芯并且包括被配置为控制所述第一三维存储器器件和所述第二三维存储器器件的外围电路，并且包括多行支撑管芯接合垫，

其中所述第一存储器管芯包括：

多行第一管芯近侧接合垫，所述多行第一管芯近侧接合垫沿着第一方向延伸并且沿着第二方向间隔开，并且在第一接合界面平面处接合到所述支撑管芯；

多行第一管芯远侧接合垫，所述多行第一管芯远侧接合垫沿着所述第一方向延伸并且沿着所述第二方向间隔开，并且在第二接合界面平面处接合到所述第二存储器管芯；和

多个第一管芯横向移位导电路径，所述多个第一管芯横向移位导电路径连接所述第一管芯近侧接合垫中的相应第一管芯近侧接合垫和所述第一管芯远侧接合垫中的相应第一管芯远侧接合垫，所述相应第一管芯远侧接合垫沿着所述第二方向与所述第一管芯近侧接合垫中的所述相应第一管芯近侧接合垫横向偏移。

2.根据权利要求1所述的接合组件，其中：

所述多行的所述第一管芯近侧接合垫沿着所述第二方向以均匀行间间距间隔开；

所述多行的所述第一管芯远侧接合垫沿着所述第二方向以所述均匀行间间距间隔开；并且

对于所述多个第一管芯横向移位导电路径中的每个第一管芯横向移位导电路径，所述第一管芯远侧接合垫中的所述相应第一管芯远侧接合垫沿着所述第二方向与所述第一管芯近侧接合垫中的所述相应第一管芯近侧接合垫横向偏移所述均匀行间间距或其整数倍。

3.根据权利要求2所述的接合组件，其中：

所述多个第一管芯横向移位导电路径包括至少两行第一管芯导电路径；

每行的所述第一管芯横向移位导电路径沿着所述第一方向布置；并且

选自所述至少两行的行的每个相邻对间隔开所述均匀行间间距。

4.根据权利要求2所述的接合组件，其中：

每行的所述第一管芯近侧接合垫内的第一管芯近侧接合垫沿着所述第一方向以均匀行内间距间隔开；并且

每行的所述第一管芯远侧接合垫内的第一管芯远侧接合垫沿着所述第二方向以所述均匀行内间距间隔开。

5.根据权利要求2所述的接合组件，其中所述第二存储器管芯包括：

多行第二管芯近侧接合垫，所述多行第二管芯近侧接合垫沿着所述第一方向延伸并且沿着所述第二方向以所述均匀行间间距间隔开，并且在所述第二接合界面平面处接合到所述第一管芯远侧接合垫；

多行第二管芯远侧接合垫，所述多行第二管芯远侧接合垫沿着所述第一方向延伸并且沿着所述第二方向以所述均匀行间间距间隔开；和

多个第二管芯横向移位导电路径，所述多个第二管芯横向移位导电路径连接所述第二管芯近侧接合垫中的相应第二管芯近侧接合垫和所述第二管芯远侧接合垫中的相应第二管芯远侧接合垫，所述相应第二管芯远侧接合垫沿着所述第二方向与所述第二管芯近侧接合垫中的所述相应第二管芯近侧接合垫横向偏移所述均匀行间间距或其整数倍。

6.根据权利要求1所述的接合组件，其中所述第一存储器管芯包括：

附加第一管芯近侧接合垫，所述附加第一管芯近侧接合垫在所述第一接合界面平面处接合到附加支撑管芯接合垫；

附加第一管芯远侧接合垫，所述附加第一管芯远侧接合垫在所述第二接合界面平面处接合到所述第二存储器管芯；和

第一管芯直连接导电路径，所述第一管芯直连接导电路径连接所述附加第一管芯近侧接合垫中的相应附加第一管芯近侧接合垫和所述附加第一管芯远侧接合垫中的相应附加第一管芯远侧接合垫，在垂直于所述第一接合界面平面的平面图中，所述相应附加第一管芯远侧接合垫与所述附加第一管芯近侧接合垫中的所述相应附加第一管芯近侧接合垫具有区域重叠。

7.根据权利要求1所述的接合组件，其中穿过相应行的第一管芯远侧接合垫的几何中心并且垂直于所述第一接合界面平面的每个垫中心平面穿过一行第一管芯近侧接合垫的几何中心。