[实用新型]一种硅片热处理用的耐高温及防金属沾污舟叉

摘要

本实用新型公开了一种硅片热处理用的耐高温及防金属沾污舟叉，包括石英舟，包括金属杆、套管、连接杆、手柄和防滑球；套管的内部设有用于支撑石英舟和硅片的金属杆，套管的一端水平插入石英舟的孔径内，套管的另一端通过多个固定螺丝分别连接在连接杆的两端，金属杆与连接杆相互垂直，金属杆位于连接杆的上方，连接杆的中部通过固定螺丝设有向下延伸的手柄，手柄的下端连接防滑球，防滑球的直径大于所述手柄的宽度；连接杆的两端外侧分别通过连接板设置用于限位金属杆的止挡结构；本实用新型加工简单，操作方便，可以有效减少目前加工过程中所引入的硅片金属沾污的弊端，提升硅片质量，为后续的芯片制作提供保障。