[实用新型]一种硅片热处理用的耐高温及防金属沾污舟叉

权利要求书

1.一种硅片热处理用的耐高温及防金属沾污舟叉，包括石英舟，其特征在于：包括金属杆（1）、套管（2）、连接杆（3）、手柄（5）和防滑球（6）；所述套管（2）的内部设有用于支撑石英舟和硅片的金属杆（1），所述套管（2）的一端水平插入石英舟的孔径内，套管（2）的另一端通过多个固定螺丝（4）分别连接在所述连接杆（3）的两端，所述金属杆（1）与连接杆（3）相互垂直，金属杆（1）位于连接杆（3）的上方，所述连接杆（3）的中部通过固定螺丝（4）设有向下延伸的手柄（5），手柄（5）的下端连接防滑球（6），所述防滑球（6）的直径大于所述手柄（5）的宽度；

所述连接杆（3）的两端外侧分别通过连接板（10）设置用于限位金属杆（1）的止挡结构，所述止挡结构包括连接在连接杆（3）上的转动轴（7）、止挡杆（8），所述止挡杆（8）的一端转动连接在转动轴（7）上，止挡杆（8）的另一端与套管（2）相抵且设有向上延伸的限位板（9），所述限位板（9）紧贴所述套管（2）的外侧面设置。

2.根据权利要求1所述的一种硅片热处理用的耐高温及防金属沾污舟叉，其特征在于：所述转动轴（7）一侧设有用于限定转动轴（7）的限位扣（11），转动轴（7）与连接杆（3）的夹角为60°。

3.根据权利要求1所述的一种硅片热处理用的耐高温及防金属沾污舟叉，其特征在于：所述套管（2）的外径小于石英舟孔径的内径，所述套管（2）的内径大于金属杆（1）的直径。

4.根据权利要求1所述的一种硅片热处理用的耐高温及防金属沾污舟叉，其特征在于：所述套管（2）的个数为2个，套管（2）为聚酰亚胺套管。

5.根据权利要求1所述的一种硅片热处理用的耐高温及防金属沾污舟叉，其特征在于：所述金属杆（1）的个数为2个。

6.根据权利要求1所述的一种硅片热处理用的耐高温及防金属沾污舟叉，其特征在于：所述连接杆（3）、手柄（5）和防滑球（6）均采用聚四氟乙烯材质。

7.根据权利要求1所述的一种硅片热处理用的耐高温及防金属沾污舟叉，其特征在于：所述固定螺丝（4）的个数为6个。

8.根据权利要求7所述的一种硅片热处理用的耐高温及防金属沾污舟叉，其特征在于：所述连接杆（3）的端部与内部设有金属杆（1）的套管（2）的端部分别通过两个对称的固定螺丝（4）连接，所述连接杆（3）的中部通过两个对称的固定螺丝（4）与手柄（5）连接。