[实用新型]一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置有效
| 申请号： | 201921543597.9 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN210796698U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张新峰;王炜 | 申请（专利权）人： | 江苏卓远半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B15/00;C30B33/02 |
| 代理公司： | 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 | 代理人： | 丁国勇 |
| 地址： | 226500 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及碳化硅生长技术领域，且公开了一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置，包括反应室。该大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置，通过水泵和制冷片，当坩埚内装有SiC粉料及籽晶的坩埚放入隔热夹套内侧，即可关闭密封盖，可拉伸连接弹簧，然后使支撑连接块带动卡块向限位块底部运动，即可使密封盖底部与反应室顶部紧密贴合，再通过真空泵对反应室内部进行真空抽气使反应室内部稳定达到一定值，使反应室内部温度进行升高后籽晶长出晶体后，使其通过进水管和出水管从水箱内抽出被制冷片制冷过的水到蓄水仓内，而蓄水仓前后两侧和左右两侧以及底部均与坩埚贴合，从而可对坩埚快速降温退火，达到冷却效率高的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 碳化硅 晶体生长 水冷 装置 | ||
【主权项】：
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