[实用新型]一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置

说明书

本实用新型涉及碳化硅生长技术领域，且公开了一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置，包括反应室。该大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置，通过水泵和制冷片，当坩埚内装有SiC粉料及籽晶的坩埚放入隔热夹套内侧，即可关闭密封盖，可拉伸连接弹簧，然后使支撑连接块带动卡块向限位块底部运动，即可使密封盖底部与反应室顶部紧密贴合，再通过真空泵对反应室内部进行真空抽气使反应室内部稳定达到一定值，使反应室内部温度进行升高后籽晶长出晶体后，使其通过进水管和出水管从水箱内抽出被制冷片制冷过的水到蓄水仓内，而蓄水仓前后两侧和左右两侧以及底部均与坩埚贴合，从而可对坩埚快速降温退火，达到冷却效率高的效果。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅生长技术领域，具体为一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置。

背景技术

金刚砂又名碳化硅，具有宽带隙、高热导率、高临界击穿电场和高电子饱和迁移速率等优点，特别适合制作高功率密度的微电子器件以及工作在高温、高频、高压、大功率和强辐射等极端条件下功率电子器件。

随着碳化硅基电子器件研究的日趋成熟，大尺寸、高质量的半绝缘碳化硅需求日趋迫切，成为碳化硅研究的聚焦领域之一，目前碳化硅晶体的生长方式都是在一个密闭真空的装置内对其进行高温加热促进碳化硅晶体的生长，当碳化硅晶体生长完成后需要对其进行降温退火，否则装置内的温度过高容易对人体造成伤害，而目前现有的降温冷却装置大部分都冷却效率较低，冷却时间较长，故而提出一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置来解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置，具备冷却效率高以及冷却效果好等优点，解决了目前现有冷却装置冷却效率低的问题。

(二)技术方案

为实现上述冷却效率高以及冷却效果好目的，本实用新型提供如下技术方案：一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置，包括反应室，所述反应室右侧的顶部通过U型连接板铰接有一端与其顶部贴合的密封盖，所述反应室底部固定连接有底板，所述反应室右侧固定安装有真空泵，所述密封盖顶部连通有通风管，所述真空泵底部连通有出风管，所述真空泵顶部连通有一端贯穿并延伸至密封盖顶部且一端与通风管顶部相互连通的进风管，所述反应室左侧的顶部固定连接有限位块，所述密封盖底部的左侧固定安装有连接弹簧，所述连接弹簧底部固定连接有一端与限位块底部贴合的支撑连接块，所述支撑连接块内侧固定连接有一端贯穿并延伸至限位块内部的卡块，所述反应室内腔底壁固定安装有隔热夹套，所述隔热夹套左右两侧与反应室内腔左右两侧壁之间均固定连接有固定安装块，两个所述固定安装块底部与反应室内腔底壁之间均固定安装有位于隔热夹套左右两侧的加热丝，所述隔热夹套内侧固定安装有蓄水仓，所述蓄水仓内侧活动连接有坩埚，所述底板顶部的左侧固定连接有水箱，所述水箱内腔底壁固定安装有数量为四个的制冷片，所述水箱顶部固定安装有水泵，所述水泵左侧连通有一端贯穿并延伸至水箱内部的进水管，所述水泵右侧连通有一端依次贯穿反应室和隔热夹套并延伸至蓄水仓内部的出水管，所述蓄水仓内部固定安装有一端贯穿隔热夹套并延伸至反应室右侧的出水管。

优选的，所述限位块底部开设有凹槽，所述凹槽直径卡块直径相匹配。

优选的，所述支撑连接块与密封盖左侧均固定安装有把手且把手外侧套接有防滑橡胶套，所述密封盖底部固定安装有密封圈。

优选的，所述水箱内腔顶壁开设有开口，所述开口直径与进水管直径相匹配。

优选的，所述隔热夹套与蓄水仓均为U字型，出水管外侧固定安装有阀门。

优选的，所述反应室内部为中空且其内腔顶部呈缺失状，所述密封盖内部开设有通孔且通孔直径与进风管直径相匹配。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置，具备以下有益效果：