[实用新型]一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置

权利要求书

1.一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置，包括反应室(1)，其特征在于：所述反应室(1)右侧的顶部通过U型连接板铰接有一端与其顶部贴合的密封盖(2)，所述反应室(1)底部固定连接有底板(13)，所述反应室(1)右侧固定安装有真空泵(6)，所述密封盖(2)顶部连通有通风管(3)，所述真空泵(6)底部连通有出风管(7)，所述真空泵(6)顶部连通有一端贯穿并延伸至密封盖(2)顶部且一端与通风管(3)顶部相互连通的进风管(4)，所述反应室(1)左侧的顶部固定连接有限位块(20)，所述密封盖(2)底部的左侧固定安装有连接弹簧(19)，所述连接弹簧(19)底部固定连接有一端与限位块(20)底部贴合的支撑连接块(22)，所述支撑连接块(22)内侧固定连接有一端贯穿并延伸至限位块(20)内部的卡块(21)，所述反应室(1)内腔底壁固定安装有隔热夹套(12)，所述隔热夹套(12)左右两侧与反应室(1)内腔左右两侧壁之间均固定连接有固定安装块(5)，两个所述固定安装块(5)底部与反应室(1)内腔底壁之间均固定安装有位于隔热夹套(12)左右两侧的加热丝(10)，所述隔热夹套(12)内侧固定安装有蓄水仓(11)，所述蓄水仓(11)内侧活动连接有坩埚(8)，所述底板(13)顶部的左侧固定连接有水箱(16)，所述水箱(16)内腔底壁固定安装有数量为四个的制冷片(14)，所述水箱(16)顶部固定安装有水泵(17)，所述水泵(17)左侧连通有一端贯穿并延伸至水箱(16)内部的进水管(15)，所述水泵(17)右侧连通有一端依次贯穿反应室(1)和隔热夹套(12)并延伸至蓄水仓(11)内部的放水管(18)，所述蓄水仓(11)内部固定安装有一端贯穿隔热夹套(12)并延伸至反应室(1)右侧的出水管(9)。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置，其特征在于：所述限位块(20)底部开设有凹槽，所述凹槽直径卡块(21)直径相匹配。

3.根据权利要求1所述的一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置，其特征在于：所述支撑连接块(22)与密封盖(2)左侧均固定安装有把手且把手外侧套接有防滑橡胶套，所述密封盖(2)底部固定安装有密封圈。

4.根据权利要求1所述的一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置，其特征在于：所述水箱(16)内腔顶壁开设有开口，所述开口直径与进水管(15)直径相匹配。

5.根据权利要求1所述的一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置，其特征在于：所述隔热夹套(12)与蓄水仓(11)均为U字型，出水管(9)外侧固定安装有阀门。

6.根据权利要求1所述的一种大尺寸碳化硅晶体生长水冷却装置，其特征在于：所述反应室(1)内部为中空且其内腔顶部呈缺失状，所述密封盖(2)内部开设有通孔且通孔直径与进风管(4)直径相匹配。