[实用新型]一种蓝膜晶元分步固晶装置有效
| 申请号： | 201921156430.7 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN209993573U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 向军;冯霞霞;封浩 | 申请（专利权）人： | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/60 |
| 代理公司： | 32333 南京中高专利代理有限公司 | 代理人： | 祝进 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种蓝膜晶元分步固晶装置，包括底板、机架和工作台，所述工作台上放置有石墨盘，所述分步固晶装置还包括设置在所述底板上的固晶装置、转动换位装置和输送轨，所述固晶装置用于将晶元从蓝膜上取出并放置到石墨盘的料片上，所述固晶装置的数量为二个；所述转动换位装置设置在二个所述固晶装置之间，所述转动换位装置用于将所述工作台上的石墨盘转动换位；所述工作台滑动安装在所述输送轨上，并能在所述固晶装置和所述转动换位装置之间移动，通过在二个固晶装置之间设置转动换位装置，二个固晶装置分别完成石墨盘的一半固晶工作，进而节约了人力成本，实现了生产的自动化，提高了经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 固晶装置 换位装置 转动 石墨盘 底板 输送轨 工作台 晶元 蓝膜 本实用新型 滑动安装 人力成本 固晶 料片 换位 自动化 取出 节约 移动 生产 | ||
【主权项】：
1.一种蓝膜晶元分步固晶装置，包括底板（1）和设置在所述底板（1）上的机架（2）和工作台（3），所述工作台（3）上放置有石墨盘，所述石墨盘中放置有待封装的料片，其特征在于：所述分步固晶装置还包括设置在所述底板（1）上的固晶装置（4）、转动换位装置（5）和输送轨（6），/n所述固晶装置（4）用于将晶元从蓝膜上取出并放置到石墨盘的料片上，所述固晶装置（4）的数量为二个；/n所述转动换位装置（5）设置在二个所述固晶装置（4）之间，所述转动换位装置（5）用于将所述工作台（3）上的石墨盘转动换位；/n所述工作台（3）滑动安装在所述输送轨（6）上，并能在所述固晶装置（4）和所述转动换位装置（5）之间移动。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
