[实用新型]一种蓝膜晶元分步固晶装置

权利要求书

1.一种蓝膜晶元分步固晶装置，包括底板（1）和设置在所述底板（1）上的机架（2）和工作台（3），所述工作台（3）上放置有石墨盘，所述石墨盘中放置有待封装的料片，其特征在于：所述分步固晶装置还包括设置在所述底板（1）上的固晶装置（4）、转动换位装置（5）和输送轨（6），

所述固晶装置（4）用于将晶元从蓝膜上取出并放置到石墨盘的料片上，所述固晶装置（4）的数量为二个；

所述转动换位装置（5）设置在二个所述固晶装置（4）之间，所述转动换位装置（5）用于将所述工作台（3）上的石墨盘转动换位；

所述工作台（3）滑动安装在所述输送轨（6）上，并能在所述固晶装置（4）和所述转动换位装置（5）之间移动。

2.如权利要求1所述的一种蓝膜晶元分步固晶装置，其特征在于：所述转动换位装置（5）包括活动臂（51）和设置在所述活动臂（51）下方的转动支架（52），所述转动支架（52）上设置有能够吸附并提起所述石墨盘的第一吸嘴（53），所述活动臂（51）的一端通过活动臂调节机构活动安装在所述机架（2）上，所述活动臂（51）的另一端固定设置有转动气缸（54），所述转动气缸（54）的转动轴固定连接所述转动支架（52）并能驱动所述转动支架（52）沿水平方向转动。

3.如权利要求1所述的一种蓝膜晶元分步固晶装置，其特征在于：所述固晶装置（4）包括放置蓝膜的扩晶盘（41）和取放晶元的甩臂（42），所述甩臂（42）上设置有取晶吸嘴，所述取晶吸嘴能够将蓝膜上的晶元取出并安装到所述石墨盘的料片上。

4.如权利要求2所述的一种蓝膜晶元分步固晶装置，其特征在于：所述活动臂调节机构包括驱动轮（55）、从动轮、第一滑块（56）、第一导轨（57）和第一电机（58），所述驱动轮（55）和所述从动轮设置在所述机架（2）上并通过同步带连接，所述第一电机（58）设置在所述机架（2）上，所述第一电机（58）的驱动轴与所述驱动轮（55）相连接，所述第一导轨（57）沿水平方向固定设置在所述机架（2）上并平行于所述同步带，所述第一滑块（56）与所述同步带固定连接并能沿所述第一导轨（57）移动，所述活动臂调节机构还包括竖直调节气缸（59）和连接块（510），所述竖直调节气缸（59）的缸体固定设置在所述第一滑块（56）上，所述竖直调节气缸（59）的活塞杆沿竖直方向设置，所述连接块（510）固定连接所述活动臂（51）并安装在所述竖直调节气缸（59）的活塞杆上。

5.如权利要求1所述的一种蓝膜晶元分步固晶装置，其特征在于：所述工作台（3）通过工作台调节机构活动安装在所述输送轨（6）上，所述工作台调节机构包括第二直线电机（31）和第三直线电机（32），所述第二直线电机（31）设置在所述输送轨（6）上并能沿所述输送轨（6）水平移动，所述第三直线电机（32）的滑轨沿水平方向固定设置在所述第二直线电机（31）的动子座上，并垂直于所述输送轨（6）设置，所述第三直线电机（32）的动子座上端固定连接所述工作台（3）。