[实用新型]一种用于气相沉积的耐高温组合支架

摘要

本实用新型提出了一种用于气相沉积的耐高温组合支架，包括：底板、支柱、套管、两个挡条组；底板为水平放置的矩形板，底板两侧的横边两端设有台阶形的定位孔，支柱下端为与定位孔形状配适的台阶圆台，套管内直径与支柱外径相适配，档条组包括上档条、放置在底板两侧竖边上的下档条，上档条、下档条上设有多个相对应的等间距的通槽，其两端设有通孔，支柱从下至上依次穿过定位孔、下档条两端的通孔、套管、上档条两端的通孔；本实用新型可适用于气相沉积中薄边类基板表面生成大面积纳米薄膜或涂层，具有很高的效率，容易加工，成本低，适用于工业化大批量生产。