[实用新型]刻蚀设备有效
| 申请号： | 201920651490.X | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN210015834U | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 金鑫;徐科;阚保国;刘家桦;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 31295 上海思捷知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种刻蚀设备，包括石英管，所述石英管内产生等离子体；固定组件，所述固定组件的两端分别为连接端和固定端，所述连接端套设于所述石英管的一端并与所述石英管连接；限位组件，所述限位组件分别设置于靠近所述石英管的两端，一端的限位组件与所述连接端贴合，以使所述固定组件与所述石英管的一端连接时不触碰所述石英管的端部。本实用新型避免了所述石英管在调转时与所述固定组件发生磕碰而产生颗粒的风险，并且便于操作人员确认调转的方向和位置，提高了刻蚀速率的稳定性和安装的便利性。 | ||
| 搜索关键词： | 石英管 固定组件 限位组件 本实用新型 连接端 等离子体 刻蚀设备 连接端套 一端连接 便利性 固定端 磕碰 触碰 刻蚀 贴合 | ||
【主权项】：
1.一种刻蚀设备，其特征在于，包括：/n石英管，所述石英管内产生等离子体；/n固定组件，所述固定组件的两端分别为连接端和固定端，所述连接端套设于所述石英管的一端并与所述石英管连接；/n限位组件，所述限位组件分别设置于靠近所述石英管的两端，一端的限位组件与所述连接端贴合，以使所述固定组件与所述石英管的一端连接时不触碰所述石英管的端部。/n
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