[实用新型]还原炉有效
| 申请号： | 201920231291.3 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN209602109U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 李涛;陈文吉 | 申请（专利权）人： | 新疆大全新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;张小勇 |
| 地址： | 832000 新疆维吾尔自治*** | 国省代码： | 新疆;65 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种还原炉，涉及多晶硅生产技术领域，主要目的是提供一种能够使连续生产多晶硅的还原炉。本实用新型的主要技术方案为：一种还原炉，包括：底盘，底盘上具有电极，电极连接于发热体，发热体用于沉淀多晶硅棒；罩体，罩体的一端连接于底盘，另一端朝向地面的方向延伸；集液部，集液部设置在罩体的另一端，集液部包括壳体、第一阀门、第二阀门和加热部件，第一阀门的一端连接于罩体，另一端连接于壳体的一侧，第二阀门设置在壳体的另一侧，加热部件设置在壳体的外部，用于加热壳体；装载部，装载部设置在集液部的下部，并且靠近第二阀门，用于装载集液部排出的多晶硅。本实用新型主要用于生产多晶硅。 | ||
| 搜索关键词： | 集液部 还原炉 阀门 壳体 罩体 本实用新型 一端连接 多晶硅 底盘 装载 加热部件 发热体 多晶硅生产 电极连接 多晶硅棒 阀门设置 方向延伸 加热壳体 电极 排出 沉淀 外部 生产 | ||
【主权项】：
1.一种还原炉，其特征在于，包括：底盘，所述底盘上具有电极，所述电极连接于发热体，所述发热体用于沉淀多晶硅棒；罩体，所述罩体的一端连接于所述底盘，另一端朝向地面的方向延伸；集液部，所述集液部设置在所述罩体的另一端，所述集液部包括壳体、第一阀门、第二阀门和加热部件，所述第一阀门的一端连接于所述罩体，另一端连接于所述壳体的一侧，所述第二阀门设置在所述壳体的另一侧，所述加热部件设置在所述壳体的外部，用于加热所述壳体；装载部，所述装载部设置在所述集液部的下部，并且靠近所述第二阀门，用于装载所述集液部排出的多晶硅。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新疆大全新能源股份有限公司，未经新疆大全新能源股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920231291.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种干冰雪花发生装置
- 下一篇：一种碱液分配器
- 同类专利
- 多晶硅还原尾气余热利用方法及系统-201610417784.7
- 桑友雷;刘丹丹;孙运德;刘彬;孙希德 - 新特能源股份有限公司
- 2016-06-15 - 2019-11-12 - C01B33/035
- 本发明提供一种多晶硅还原尾气余热利用方法，其包括如下步骤：在第一套管中利用来自李比希冷凝管的循环水的冷量对还原炉输出的还原尾气进行冷却处理，并使第一套管冷却后的还原尾气进入所述李比希冷凝管；在所述李比希冷凝管中利用来自静态混合器的进料气和来自循环水系统的循环水的冷量对来自所述第一套管的还原尾气再次进行冷却处理，并使冷量已被所述李比希冷凝管利用的进料气进入还原炉，以及使冷量已被所述李比希冷凝管利用的循环水进入所述第一套管。相应地，还提供一种多晶硅还原尾气余热利用系统。本发明既能降低多晶硅生产的电单耗、提高TCS的一次转化率，又能避免产品出现外观问题，还能有效降低还原尾气的温度。
- 一种还原炉石墨件-201920113660.9
- 冉祎;袁中华;汪云清;王琴;陈井建;李寿琴 - 四川永祥多晶硅有限公司
- 2019-01-23 - 2019-11-12 - C01B33/035
- 本实用新型公开一种还原炉石墨件，包括石墨底座和石墨头，所述的石墨底座底侧开设用于导电接触的底孔，所述石墨底座的顶侧开设供石墨头下端插入的顶孔，所述的石墨头的顶部开设供硅芯插入的硅芯孔。本实用新型所述的还原炉石墨件结构简单、紧凑，通过插接的方式即可完成连接，安装拆卸方便、效率高，结构精简，制作成本低，在完成多晶硅棒的沉积后将石墨头从石墨底座上拔出即可，不易对石墨底座造成损坏，石墨件回收利用率高，降低生产成本。
- 还原炉-201920231291.3
- 李涛;陈文吉 - 新疆大全新能源股份有限公司
- 2019-02-25 - 2019-11-08 - C01B33/035
- 本实用新型公开了一种还原炉，涉及多晶硅生产技术领域，主要目的是提供一种能够使连续生产多晶硅的还原炉。本实用新型的主要技术方案为：一种还原炉，包括：底盘，底盘上具有电极，电极连接于发热体，发热体用于沉淀多晶硅棒；罩体，罩体的一端连接于底盘，另一端朝向地面的方向延伸；集液部，集液部设置在罩体的另一端，集液部包括壳体、第一阀门、第二阀门和加热部件，第一阀门的一端连接于罩体，另一端连接于壳体的一侧，第二阀门设置在壳体的另一侧，加热部件设置在壳体的外部，用于加热壳体；装载部，装载部设置在集液部的下部，并且靠近第二阀门，用于装载集液部排出的多晶硅。本实用新型主要用于生产多晶硅。
- 多晶硅棒、多晶硅棒的制造方法以及单晶硅-201580023889.8
- 宫尾秀一;祢津茂义;冈田哲郎 - 信越化学工业株式会社
- 2015-04-24 - 2019-11-08 - C01B33/035
- 在本发明中，暂且先通过西门子法培育出多晶硅棒，然后将该多晶硅棒在750℃～900℃的范围的温度下进行热处理而除去在结晶内部残留的应力。根据本发明人的实验，利用这种程度的低温下的热处理也可以充分地除去残余应力，而且，没有引起金属污染的风险，也没有改变多晶硅棒的各物性的风险。上述热处理可以在培育出多晶硅棒的炉内实施，也可以在培育出多晶硅棒的炉外实施。根据本发明，可以得到基于2θ‑sin2Ψ线图评价的残余应力(σ)为+20MPa以下的多晶硅棒，以该多晶硅棒作为原料培育单晶硅时，能够得到优质的单晶硅。
- 多晶硅的还原生产-201810370079.5
- 齐林喜;陈建宇;郝爱科;赵亮 - 内蒙古盾安光伏科技有限公司
- 2018-04-24 - 2019-11-01 - C01B33/035
- 多晶硅的还原生产方法，包括：提供还原炉；将多个硅芯棒安装在还原炉中，控制炉内有效单位体积内硅芯生长表面面积；向还原炉中通入氢气和三氯氢硅混合气体原料；控制还原炉内温度；在硅芯棒上生长多晶硅体，控制炉内有效单位体积内最终长成的多晶硅体表面积；停止通入混合气体原料，并切换为通入氢气，直至还原炉内温度降低至预定值。
- 太阳能级多晶硅产品及其生产方法-201810335325.3
- 齐林喜;陈建宇;郝爱科;赵亮 - 内蒙古盾安光伏科技有限公司
- 2018-04-16 - 2019-10-29 - C01B33/035
- 太阳能级多晶硅产品及其生产方法。该多晶硅产品包括硅芯和围绕硅芯长成的多晶硅体。在该多晶硅棒产品的横截面上，多晶硅体形成大致椭圆形，硅芯则形成基本居中位于椭圆形内的大致矩形。本发明的椭圆棒多晶硅产品物理性能好，有利于后续高效运输，并能以更经济的方式生产。
- 多晶硅取棒装置及方法-201811605733.2
- 蔡延国;杨明财;王生红 - 亚洲硅业（青海）有限公司
- 2018-12-25 - 2019-10-29 - C01B33/035
- 本发明提供了一种多晶硅取棒装置及方法，属于多晶硅准运领域。多晶硅取棒装置包括：洁净罩，洁净罩内具有密闭的容纳腔；取料机构，取料机构设置于容纳腔的内部；取料机构包括轨道、第一运载件以及机械臂，轨道设置为环形，第一运载件和轨道滑动连接，机械臂和第一运载件连接，第一运载件用于带动机械臂沿着轨道运动；转运机构，转运机构设置于容纳腔的内部；控制器，控制器分别和第一运载件、机械臂以及第二运载件电连接，控制器用于分别控制第一运载件、机械臂以及第二运载件。这种多晶硅取棒装置及方法可以在密闭的空间中进行，可以有效防止外界的物质对多晶硅棒造成污染，并且利用机械臂在轨道上进行转运，可以具有较高的工作效率。
- 一种用于氢化炉防短路的发热体及氢化炉-201920169531.1
- 王培良;李风举;祝德光 - 青岛祥泰碳素有限公司
- 2019-01-31 - 2019-10-25 - C01B33/035
- 本实用新型涉及一种用于氢化炉防短路的发热体及氢化炉，包括发热体本体和电极，所述发热体本体的两端均设有防短路组件，所述电极包括正电极和负电极，所述正电极、负电极的外围均设有固定座，且固定座与发热体本体的端部之间设有绝缘陶瓷，所述防短路组件包括筒体以及氮化硅盖板，本实用新型借助氮化硅盖板、绝缘陶瓷和筒体在电极外部形成密闭空间，有效阻挡发热体本体的剥落物在电极处堆积，防止发生短路现象，保证氢化炉安全运行，同时，氮化硅盖板能够减少氢化炉内气流对筒体的冲刷及高温灼烧，延长筒体的使用寿命，此外，气流促使氮化硅盖板能够更加紧密的与筒体盖合，有效防止粉尘物进入到筒体中，避免氢化炉停车。
- 一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置及方法-201910784965.7
- 钟峥;张万里 - 新疆大全新能源股份有限公司
- 2019-08-23 - 2019-10-22 - C01B33/035
- 本发明涉及多晶硅加工技术领域，具体涉及一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置及方法。主要技术方案为：一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置，包括:机架、导轨、夹持机构、磨削驱动机构和磨头；导轨固定地设置在机架上；夹持机构设置在导轨上，能够在导轨上移动；磨头设置在磨削驱动机构上，被磨削驱动机构驱动转动；磨头的前端部为圆柱形；磨头的后端部为圆柱形；磨头的后端部的直径较前端部的直径大；磨头的前端部和后端部之间为中部；中部为圆台形；前端部、中部和后端部同轴设置；磨头上设置有通孔，用于向磨头的磨削面通入超纯水；磨头上设置有导流槽；导流槽沿磨头的外侧，从通孔的前端延伸至磨头的后端部，用于将磨头中的水和磨削粉尘导出。
- 一种72对棒多晶硅还原炉交流电源系统-201910807087.6
- 耿怀银 - 新疆协鑫新能源材料科技有限公司
- 2019-08-29 - 2019-10-22 - C01B33/035
- 本发明公开了一种72对棒多晶硅还原炉交流电源系统，应用于72对棒多晶硅还原炉，包括电源、变压器、负载硅棒模块和控制柜，72对硅棒分为6相，每相12对硅棒分为两组，每组6对硅棒依次串联；所述变压器为6相绕组，每相绕组对应两个并联并分别接地的负载硅棒模块；负载硅棒模块包括一功率调节模块和一组6对硅棒；每个功率调节模块与对应负载的6对硅棒之间，设有硅棒断路器和硅棒负载零序电流互感器，硅棒断路器和硅棒负载零序电流互感器分别与控制柜连接；硅棒负载零序电流互感器将流过自身的电流转化为信号传递至控制柜内。通过增加每相硅棒负载接地独立检测装置，区分每组硅棒负载接地故障，确保每组硅棒接地单独只跳1组硅棒负载。
- 一种加料装置-201920053704.3
- 易本友 - 抚州市天和硅业有限责任公司
- 2019-01-12 - 2019-10-11 - C01B33/035
- 本实用新型公开了一种加料装置，包括内圈硅棒、还原炉炉体、外圈硅棒、还原炉喷嘴、还原炉底盘、进料管、还原炉混合气进气口和还原炉尾气出口，所述还原炉炉体安装在还原炉底盘上，其特征在于：所述进料管末端安装有进料装置，所述还原炉喷嘴包括分配器、连管、喷口，所述分配器与还原炉混合气进气口位于还原炉炉体内的末端接通，分配器上具有若干根与分配器接通的连管，连管的末端具有与连管接通的喷口。本实用新型具有结构简单，能使氢气与三氯氢硅充分混合以湍流的方式进入还原炉，将氢气与三氯氢硅因密度差造成的不均匀度降低到最低限度，使硅棒生长均匀，转化效率得以大大提高等优点。
- 多晶硅棒的制造方法-201710051831.5
- 祢津茂义;黑泽靖志;星野成大 - 信越化学工业株式会社
- 2013-02-19 - 2019-09-27 - C01B33/035
- 本申请发明涉及一种多晶硅棒的制造方法。在钟形玻璃罩(1)内配置的2对牌坊型的硅芯线(12)之间设置的电路(16)的串联/并联的切换通过开关(S1～S3)来进行。该电路(16)中，从供给低频电流的一个低频电源(15L)、或供给具有2kHz以上的频率的高频电流的一个高频电源(15H)供给电流。若关闭开关(S1)且打开开关(S2)以及(S3)而将2对牌坊型的硅芯线(12)(或多晶硅棒(11))串联连接，并将开关(S4)切换至高频电源(15H)侧，则可以对被串联连结的牌坊型的硅芯线(12)(或多晶硅棒(11))供给2kHz以上的频率的高频电流来进行通电加热。
- 一种大型还原炉底盘-201910601259.4
- 赵建;盛斌;朱敏 - 江苏双良新能源装备有限公司
- 2019-07-05 - 2019-09-20 - C01B33/035
- 本发明涉及一种大型还原炉底盘，包括电极孔、进料喷嘴和尾气孔，所述电极孔、进料喷嘴和尾气孔与底盘法兰、底盘面板等共同组合成还原炉底盘，所述进料喷嘴包括一个内进料喷嘴和四圈进料喷嘴，所述内进料喷嘴位于底盘的中心，所述四圈进料喷嘴呈环形分布于底盘上面，所述电极孔沿底盘中心向外依次设有7圈电极孔，内4圈电极孔相互关系呈正六边形分布，外3圈电极孔相互关系呈同心圆，所述尾气孔位于底盘最外侧。本发明对还原反应过程中产生的各种热量进行整合，合理利用硅棒间的热辐射，冷热物料的热传导，有效控制雾化，提升多晶硅一次转化率至11%~12%；提升多晶硅沉积速度至160~180kg/h，降低还原电耗至35kw/kg‑Si，大幅降低多晶硅生产成本。
- 硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具-201821850963.0
- 沈长丽;杨鹏举;蒋星光 - 河南硅烷科技发展股份有限公司
- 2018-11-12 - 2019-09-10 - C01B33/035
- 本实用新型公开了硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具，包括内套筒，内套筒的顶部的前后侧面分别设置有吊耳，吊耳的下部设置有滑柱，内套筒的底部的圆周方向均布设置有多组固定孔，内套筒的外部套设有外套筒，外套筒从上到下依次设置为上套体、连接杆、下套体和齿状体，上套体的左右侧面固定设置有把手，上套体的前后侧面设置有滑槽孔，滑柱位于滑槽孔内，齿状体的左右侧面分别设置有齿条齿，固定孔内设置有小齿轮，小齿轮包括内杆、齿部和外杆，外杆的前后两侧卡接有旋转环，旋转环的数量是多个；使用时，通过吊具将本实用新型置入夹套内，通过内套筒与外套筒的配合取出断裂的硅棒；本实用新型具有结构精巧、安全无污染的优点。
- 一种硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用石墨夹头-201821850986.1
- 李红彬;许鹏;杨鹏举 - 河南硅烷科技发展股份有限公司
- 2018-11-12 - 2019-09-10 - C01B33/035
- 本实用新型公开了一种硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用石墨夹头，包括石墨底座、锥形部、圆柱部和环形支撑板，石墨底座下部设置有电极插孔，石墨底座上部设置有插槽，插孔和插孔之间通过连接孔相通，锥形部与插槽相适配，锥形部顶端固定连接有圆柱部，圆柱部外侧固定连接有环形支撑板，环形支撑板外侧面设置有夹持凹槽，锥形部内部底部设置有第一夹持孔，第一夹持孔上方设置有第二夹持孔，圆柱部内部设置有第三夹持孔，第一夹持孔、第二夹持孔和第三夹持孔内部相通且呈阶梯状设置；总的，本实用新型具有稳固支撑、有效防护、便于拆卸的优点。
- 一种硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用电极组件-201821851154.1
- 许鹏;程小会;李金生 - 河南硅烷科技发展股份有限公司
- 2018-11-12 - 2019-09-10 - C01B33/035
- 本实用新型公开了一种硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用电极组件，包括石墨底座、基电极、水平导电座、锥形电极、环形电极、绝缘套管和绝缘底座，石墨底座下部设置有圆锥形电极插孔，石墨底座上部设置有倒圆锥形插槽，插孔和插槽之间通过连接孔相通，基电极通过绝缘套管安装在炉盘上，基电极顶端连接有水平导电座，水平导电座和炉盘之间还设置有绝缘底座，水平导电底座上中间位置固定设置有锥形电极，水平导电底座上边缘处设置有环形电极，锥形电极和石墨底座上的电极插孔相适配，环形电极的内侧面和石墨底座的外侧面相适配，锥形电极和环形电极之间的空腔与石墨底座下部相适配；总的，本实用新型具有连接稳固、有效支撑、避免倒棒的优点。
- 一种电子级多晶硅还原炉底盘及还原炉-201821716989.6
- 何银凤;刘铭;李有斌;梁世民;韩金豆;张胜涛 - 青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司;黄河水电光伏产业技术有限公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司
- 2018-10-23 - 2019-08-13 - C01B33/035
- 本实用新型公开了电子级多晶硅还原炉底盘，包括底盘、由若干电极形成的电极环、由若干进气口形成的进气环及由若干出气口形成的出气环，底盘为圆盘结构，形成的电极环、进气环和出气环均是以底盘的中心为圆心的同心圆，电极环至少包括由内至外依次设置的第一电极环和第二电极环，进气环至少包括设于第一电极环和第二电极环之间的第一进气环，第一进气环上的若干进气口的口径不完全相等。本实用新型的还原炉底盘通过在底盘上间隔布置不同口径的进气口，使得反应气体进入炉内的流速不一致，改变现有技术中的均匀的气流分布，形成高低搭配的气流，有效减少了炉体上部的气体停滞区，从而减少了菜花料形成几率，提高了多晶硅产品质量产量，减少了单位能耗。
- 多晶硅生长电流自动控制方法和装置-201610500428.1
- 王文;银波;呼维军;陈卫卫;蔡芳芳;郑安;刘方旭 - 新特能源股份有限公司
- 2016-06-30 - 2019-08-09 - C01B33/035
- 本发明提供一种多晶硅生长电流自动控制方法，包括如下步骤：将从多晶硅开始进料至反应结束停止进料的全过程划分为三个时段，分别为第一至第三时段；在第一时段内，预设目标温度曲线，根据实际温度控制给定电流的输出，以使实际温度接近目标温度；在第二时段内，预设给定电流曲线，并按照给定电流曲线控制给定电流的输出；在第三时段内，预设给定电流值，并控制给定电流恒定地输出该预设的给定电流值。相应地，还提供一种多晶硅生长电流自动控制装置。本发明能够自动控制多晶硅生长电流，从而减少甚至避免了人为操作，而且重复性高，能够适应不同的工况和参数，易于调整和改进。
- 用于制备多晶硅的方法-201811540457.6
- 米夏埃尔·克舍尔;赖纳·佩什;阿明·桑德纳 - 瓦克化学股份公司
- 2014-03-24 - 2019-08-06 - C01B33/035
- 本发明涉及用于制备多晶硅的方法，具体地，该方法包括：在位于至少一个反应器中的支撑体上沉积多晶硅，其结果是获得多晶硅棒，从至少一个反应器中形成多晶硅棒，将形成的多晶硅棒粉碎成段，特征在于在从至少一个反应器中形成多晶硅棒之后，并且在将形成的多晶硅棒成粉碎成段之前，以棒形式存在的多晶硅参照至少一种特征分类为至少两种质量类别，将每一至少两种质量类别发送至单独的进一步的加工步骤。
- 绝缘和密封CVD反应器中的电极夹持机构的设备-201580061012.8
- H·克劳斯;C·库察;D·伦施密德 - 瓦克化学股份公司
- 2015-11-06 - 2019-08-06 - C01B33/035
- 本发明涉及绝缘和密封CVD反应器中的电极夹持机构的设备，其包括适合于容纳细丝棒的电极，电极位于安装在底板的凹坑中的由导电材料制成的电极夹持机构上，其中在电极夹持机构与底板之间设置由室温下的比导热率为1至200W/mK、持续使用温度大于或等于400℃且室温下的电阻率大于109Ωcm的材料制成的电绝缘环，其中设置至少两个环形密封元件以在电极夹持机构与底板之间实现密封，其中电绝缘环或电极夹持机构或底板包括将密封元件固定在其中的凹槽，其中至少一个密封元件固定在安装在电极夹持机构中或安装在底板中的位于电绝缘环上方或下方的凹槽中。
- 多晶硅还原炉的电极组件-201610701645.7
- 齐林喜;喻波;陈建宇;赵亮;郝爱科 - 内蒙古盾安光伏科技有限公司
- 2016-08-23 - 2019-07-30 - C01B33/035
- 一种多晶硅还原炉的电极组件，包括石墨支撑底座，石墨支撑底座包括第一导电臂和第二导电臂，第一导电臂上设置有安装硅芯的第一安装部，第二导电臂上设置有安装硅芯的第二安装部。本发明的多晶硅还原炉电极组件，将硅芯的密度增加一倍，在还原炉发生还原反应的时候，热量、物料利用率提高，成本降低。
- 一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置及夹持方法-201810923115.6
- 丁小海;蔡延国;刘廷泽;宗冰;王体虎 - 亚洲硅业（青海）有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
- 2018-08-14 - 2019-07-26 - C01B33/035
- 本发明涉及多晶硅生产设备领域，具体涉及一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置及夹持方法。本发明提供的多晶硅还原炉硅芯夹持装置，包括至少两个石墨卡瓣、石墨基座以及绝缘夹套。在使用过程中，将石墨基座的连接孔连接于电极上，石墨卡瓣卡接于所述石墨基座的限位槽内，并形成夹持硅芯的夹持空间，绝缘夹套连接于石墨基座靠近所述限位槽的一端，底部与底盘不接触，可缓解表面结硅问题，避免形成接地回路，有效防止意外跳停，同时绝缘夹套表面形成的硅粉易于清洗，方便重复利用，降低生产成本。石墨卡瓣与绝缘夹套的倾斜内壁的斜面配合，使得硅芯得到稳定夹紧。
- 一种用于制备电子级多晶硅的还原炉电极-201820641931.3
- 罗文富 - 厦门佰事兴新材料科技有限公司
- 2018-05-02 - 2019-07-23 - C01B33/035
- 本实用新型公开了一种用于制备电子级多晶硅的还原炉电极，包括电极本体，所述电极本体包括与石墨夹头相配合的头部和安装在还原炉底盘上的体部，所述头部由银制成，体部由铜制成，头部与体部通过真空电子束焊焊接，这种电极采用银制成的头部，能够长期稳定使用，无污染，不必因需重新喷或镀银而经常拆装，而且头部与体部采用真空电子束焊接，焊缝纯净、光洁，无氧化等缺陷，不会在使用过程中污染多晶硅，可以制得电子级多晶硅。
- 一种新型多晶硅生产预热用还原炉-201821690328.0
- 周聪;康琪;姚波;游俊;周昆 - 四川宏图普新微波科技有限公司
- 2018-10-18 - 2019-07-19 - C01B33/035
- 本实用新型公开了一种新型多晶硅生产预热用还原炉，包括相互连接的底盘和炉罩，所述底盘上设置有电极，电极与电加热电源相连；所述炉罩还连接有微波发生器；本实用新型采用微波照射加热和电加热相结合的方式对硅芯进行加热，常温状态下硅芯以非金属性为主，此时微波加热效率高，随着硅芯电阻率降低，金属性增强，微波照射的加热效率降低而电加热的效率不断提高，其兼具了微波加热和电加热的优点，同时克服了现有技术中能耗大、加热效率低、操作繁琐等缺陷，能够有效提高多晶硅的生产效率，具有良好的经济效益。
- 多晶硅还原炉尾气防护罩、多晶硅还原炉及多晶硅生产系统-201821356220.8
- 陈英;杨涛;朱贵平;张万军;张永良;李有斌;张才刚;吴云起;郝连喜;焦建新;张霁 - 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司
- 2018-08-16 - 2019-07-05 - C01B33/035
- 本实用新型属于多晶硅的生产设备技术领域，涉及多晶硅还原炉尾气防护罩、多晶硅还原炉及多晶硅生产系统。本实用新型的多晶硅还原炉尾气防护罩，包括圆柱形侧壁，所述圆柱形侧壁的顶端连接封闭的顶盖，所述圆柱形侧壁的低端连接尾气出气口；所述圆柱形侧壁上开设有多个周向均布的排气通孔；所述防护罩为碳－碳复合材料防护罩。本实用新型能够有效防止硅块进入尾气管线，避免尾气管线堵塞，又能保证还原炉尾气的正常流通，大大减小清理尾气管线的工作量。
- 气体分配器及包括它的用于多晶体硅沉积的反应器-201811529257.0
- 弗里德里克·波普;克里斯蒂安·库察;马丁·勒克尔;托比亚斯·韦斯 - 瓦克化学股份公司
- 2014-03-19 - 2019-06-25 - C01B33/035
- 本申请涉及一种气体分配器及包括它的用于多晶体硅沉积的反应器，气体在该气体分配器中传输，该气体分配器包括：通过能易于拆卸的固定装置气密性地连接至彼此的至少两个部分、以及至少一个气体进口孔和至少一个气体出口孔，其中，气体分配器通过能易于拆卸的固定装置安装至用于多晶体硅沉积的反应器，其中，气体分配器的至少一个气体出口孔连通地连接至反应器的至少一个气体进口孔，和/或其中，气体分配器的至少一个气体进口孔连通地连接至反应器的介质供应部的至少一个气体进给管线。
- 一种多晶硅还原炉-201821173373.9
- 侯彦青;方文宝;余创;王春龙;杜鹏 - 昆明理工大学
- 2018-07-24 - 2019-06-18 - C01B33/035
- 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉，包括炉体、底盘、电极、石墨卡槽、硅棒、感应线圈，炉体与底盘固定连接构成一个中空的钟罩式腔室；炉壁和底盘为双层结构，底盘和炉壁的夹层之间均设有冷却水通道，炉壁的底部对应设有冷却水入口，顶部有冷却水出口，底盘的一侧设有冷却水入口另一侧设有冷却水出口；本实用新型提出的通过交流电使感应线圈产生感应电流从而加热硅棒，可以使硅棒上温度梯度减小，可增大硅棒的最大沉积半径；本实用新型内部结构布局合理，单台还原炉的产量比现有的还原炉提高很多，使多晶硅的综合能耗和生产成本也相应降低。
- 一种多晶硅还原炉电极结构-201821609103.8
- 刘长圣;呼维军;陈国辉;张瑜龙;李大伟;王玉丽 - 新特能源股份有限公司
- 2018-09-30 - 2019-06-07 - C01B33/035
- 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉电极结构，包括电极(1)和设于电极上的绝缘组件，绝缘组件包括敷设在电极上的绝缘功能层(4)、以及依次套装在绝缘功能层上的密封瓷环(5)和绝缘套(3)，绝缘功能层处于电极的直筒段从电极头锥部以下延伸至托台(8)的位置，其采用陶瓷粉末制成，密封瓷环与绝缘功能层紧密贴合。所述电极结构能够减少多晶硅还原炉运行过程中的缺相现象。
- 一种双冷却多晶硅还原炉底盘结构-201821589959.3
- 赵建;陈丞浩;殷亚军 - 江苏双良新能源装备有限公司
- 2018-09-28 - 2019-05-31 - C01B33/035
- 本实用新型涉及一种双冷却多晶硅还原炉底盘结构，包括底盘冷却夹套、尾气管冷却管夹套、尾气管和隔离封板，所述隔离封板位于尾气管和尾气管冷却管夹套之间，将底盘冷却夹套与尾气管冷却管夹套隔开，所述尾气管冷却管夹套上设有第一进水口、第二进水口和第二出水口，所述第一进水口位于隔离封板的上方，所述第二进水口和第二出水口位于隔离封板的下方，所述底盘冷却夹套上设有第一出水口。本实用新型既可以保证四氟套的使用寿命，拆棒时无需置换低温水，操作方便，又可以回收冷却水余热，达到综合节能降耗效果。
- 一种78对棒多晶硅还原炉-201920315744.0
- 张万尧;秦云龙;安亚中;孙中心;周涛;张继春;吴炳珑;冉蔡玲;郭雨;冯小朋;周钰君;张国海 - 天华化工机械及自动化研究设计院有限公司
- 2019-03-13 - 2019-05-31 - C01B33/035
- 本新型提供的78对棒多晶硅还原炉，其包括：包括：裙座1、底盘座2、炉体进气管路3、炉体4、夹套5、炉体冷却水出口6、硅芯7、视镜8、炉体冷却水进口9、底盘进气管路10、底盘排气管路11、底盘冷却水出口管12、电极座13、底盘冷却水进口管14组成。气体浓度分布调节管路系统，包括一注入反应气体的炉体进气管路3以及注入反应气体的底盘进气管路10；炉体进气管路3用以使所述反应气体自上而下进入所述反应腔体内；所述底盘进气管路使得所述反应气体自下而上进入所述反应腔体内；在两管路的共同调节下均匀分布在该硅芯7周围，提高了硅棒上部区域的生长速率，与硅棒下部的生长速率相当，保证了硅棒的均匀性，提高了产品质量。
- 专利分类
