[实用新型]一种晶圆研磨抛光设备有效
| 申请号： | 201920038412.2 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN209425259U | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 聂伟;陈志远;姜红涛;孔凡苑;孟强;曹文文;魏通 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/00 | 分类号： | B24B57/00;B24B41/00;B24B37/34;B24B41/02 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 董旭东 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了半导体制造领域内的一种晶圆研磨抛光设备，包括机座，机座上可转动地连接有旋转台，旋转台上固定设置有工作盘，工作盘上开设有与晶圆相匹配的圆形凹槽，凹槽内放置有晶圆，所述工作盘上方对应设有与机械手传动连接的研磨座，研磨座上安装有研磨石，与所述工作盘相对应地设有抛光液喷头，所述机座设置在外收集箱体内，外收集箱体依次由前侧板、左侧板、后侧板和右侧板围成，前侧板底部设有底板，各侧板上均开设有滑槽，滑槽内滑动连接有升降板，升降板旁均对应设有竖直的气缸，气缸的活塞杆伸出端通过传动板与对应升降板传动连接。本实用新型能够防止研磨抛光晶圆时，抛光液到处乱溅，从而影响工作环境。 | ||
| 搜索关键词： | 工作盘 升降板 机座 晶圆 研磨抛光设备 本实用新型 传动连接 收集箱体 抛光液 前侧板 研磨座 滑槽 气缸 种晶 半导体制造领域 底板 喷头 活塞杆伸出端 影响工作环境 固定设置 滑动连接 研磨抛光 圆形凹槽 机械手 传动板 地连接 后侧板 可转动 旋转台 研磨石 右侧板 左侧板 侧板 竖直 匹配 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆研磨抛光设备，其特征在于，包括机座，机座上可转动地连接有旋转台，旋转台水平设置，旋转台上固定设置有工作盘，工作盘上开设有与晶圆相匹配的圆形凹槽，凹槽内放置有晶圆，所述工作盘上方对应设有与机械手传动连接的研磨座，研磨座上安装有研磨石，与所述工作盘相对应地设有抛光液喷头，所述机座设置在外收集箱体内，外收集箱体依次由前侧板、左侧板、后侧板和右侧板围成，前侧板、左侧板、后侧板和右侧板的底部设有底板，机座底部与底板之间留有间隙，所述前侧板、左侧板、后侧板和右侧板上均开设有滑槽，滑槽内滑动连接有升降板，升降板旁均对应设有竖直的气缸，气缸位于外收集箱体外，气缸的活塞杆伸出端通过传动板与对应升降板传动连接。
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- 本发明涉及一种用于珩磨机油过滤的自动滤油机，包括机台、布轮安装架和牵引轮结构，机台左侧安装有牵引轮结构，牵引轮结构左侧安装有废屑箱，机台上端面中部纵向安装有液面监控器，机台上端面右端处安装有布轮安装架，机台上端面中部布置有与液面监控器对应的油槽，油槽左侧壁上端朝左倾斜形成回油斜面，回油斜面上端与机台上端面右端之间布置有弧形凸台，回油斜面上方安装有进油箱，进油箱左侧安装有金属分离装置，牵引轮结构后侧安装有与其相连的伺服电机，金属分离装置左侧安装有卸料斜面。本发明具有结构简单、体积适中、安装方便、大大提高了设备的环保性能、减少了资源的浪费，从而节约了生产成本等特点。
- 一种玻璃研磨用刮水器-201820773142.5
- 卢美桦 - 郴州市恒耀玻璃材料有限公司
- 2018-05-23 - 2019-01-22 - B24B57/00
- 本实用新型提供一种玻璃研磨用刮水器。所述玻璃研磨用刮水器包括固定结构；集水结构，所述集水结构设于所述固定结构的一侧，所述集水结构包括进水槽、进水口、积水腔和进水道，所述进水口设于所述固定结构的底端，所述进水槽设于所述固定结构靠近所述进水口的一端，且所述进水槽为扇形结构，所述进水槽为内部带有容纳空腔的结构，所述进水道设于所述进水槽的内部，且所述进水道为扇形结构，所述积水腔设于所述进水道背离所述进水口的一端，且所述积水腔为圆柱体结构。本实用新型提供的玻璃研磨用刮水器具有防止刮水器在刮水时顺着手柄流向人手的优点。
- 一种倾斜式排水槽-201820964478.X
- 曾献卫 - 深圳市恩腾自动化设备有限公司
- 2018-06-21 - 2019-01-18 - B24B57/00
- 本实用新型公开了一种倾斜式排水槽，包括外挡边、外围边、内挡边、内围边、底边、排水口和排水孔，外挡边通过固焊连接在外侧外围边的顶部，外围边连接下方的底边，底边固焊于外挡边与内挡边的下底部，底边焊接成环状结构，内挡边通过固焊连接内侧内围边的顶部，排水口则设焊于底边的最低处，排水口通过排水孔连接，利用大幅度倾斜环形焊缝结构，两对称中心为最高处和最低处，排水口设在最低处，倾斜角度大，所以液体均会从高处迅速流到排水口，利于液体排出。本倾斜式排水槽的技术则均采用不锈钢材质，大幅度环形倾斜解决了当前现有技术的液体容易沉底、难于排出下水口、容易残留等，本倾斜式排水槽焊缝工艺简单、不易沉底、方便清理。
- 一种磨削过滤排屑装置-201820608649.5
- 贺峰;曹继敏;罗乾伟;石金虎;王戈 - 西安圣泰金属材料有限公司
- 2018-04-26 - 2019-01-08 - B24B57/00
- 本实用新型涉及一种综合排屑过滤装置，主要用与金属材料的机械加工领域。提供一种磨削过滤排屑装置,包括过渡水箱、管线和综合过滤装置，过渡水箱和综合过滤装置通过管线相联，主要适用于粉尘级别细小屑的排除，磨削液的循环使用大大的节约了磨削液，保护了环境，节约了成本，对磨削工件进行降温，润滑，保证磨削屑子可以集中处理，对比一般磨削液处理来说，进行了综合处理，屑子处理的更加干净，实现了磨削屑子集中处理以及磨削液循环使用。
- 一种轴承加工磨削液过滤机-201820756968.0
- 朱洪亮;王健;朱晨;王匀 - 盐城市三川轴承制造有限公司
- 2018-05-21 - 2019-01-08 - B24B57/00
- 本实用新型公开了一种轴承加工磨削液过滤机，包括底座，所述底座的顶部固定连接有过滤箱，所述过滤箱的底部固定连接有转动电机，所述转动电机的输出轴延伸至过滤箱的外部并固定连接有转盘，所述转盘的顶部固定连接有磁性杆，所述过滤箱的左右两侧箱壁均开设有通孔，所述底座的顶部且位于过滤箱的左右两侧均转动连接有滚动轴，左侧的所述滚动轴的背面与驱动电机的输出轴固定连接，所述驱动电机与底座的顶部固定连接，两个所述滚动轴通过贯穿两个通孔的连接带传动连接。该轴承加工磨削液过滤机，可以有效的对磨削液进行过滤，过滤效果更好，使得磨削液在二次使用的时候使用效果更好，保证了磨削的效果和轴承的成品率。
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