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[发明专利]一种晶体生长过程中缺陷监控装备-CN202210595558.3有效
发明人：袁韶阳;冯佳峰;于会永;赵春锋;赵中阳;刘钊;张艳辉;荆爱明 -专利权人：大庆溢泰半导体材料有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：一种晶体生长过程中缺陷监控装备，涉及可视化单晶生长装置技术领域，包括生长炉、石英管、坩埚，坩埚下部设置有支撑装置，支撑装置下方设置有旋转装置，生长炉的内壁为圆锥面，其中上端为小径端，下端为大径端，生长炉内壁的下部分设置有反射条，生长炉与支撑装置之间设置有接受反射信号的监视器，监视器与反射条处于同一相位，监视器外部设置有冷却装置；本发明解决了现有的垂直梯度凝固法生长晶体时不可监控的问题，本发明石英管内晶体生长的可视状态信号通过生长炉内壁的反射条反实时的射到监控设备，加之石英管自身不断的转动，从而全方位的对晶体生长状态进行监控。
一种晶体生长过程缺陷监控装备

[发明专利]一种低位错INP单晶生长设备-CN202210559268.3有效
发明人：袁韶阳;冯佳峰;于会永;赵春锋;赵中阳;刘钊;张艳辉;荆爱明 -专利权人：大庆溢泰半导体材料有限公司
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C30B29/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种低位错INP单晶生长设备，包括炉体，炉体的内壁固定安装有隔热层，隔热层的内壁固定安装有加热装置，加热装置内壁的底部固定安装有炉底护盘，炉体的底端一体形成有底盘，底盘的内壁转动安装有降摩组件，降摩组件的内部活动安装有坩埚轴，坩埚轴的顶端可拆卸安装有石墨坩埚。本发明通过设置复合组件可以对石墨坩埚的内部的原材料进行缓冲效果，延长其使用寿命，以及对热熔后的原料进行防漏同时进行循环作用的效果，提升了石墨坩埚的实用性，最后通过整体效果组合，使得石墨坩埚整体的实用性与环保性均得到提升，还通过降摩组件最大程度的降低炉体的热量从底盘传递出，因此达到了降低磨损，延长使用寿命以及减伤能量损耗的效果。
一种低位 inp 生长设备

[发明专利]一种钽酸锂单晶生长设备-CN202211155072.4在审
发明人：袁韶阳;冯佳峰;于会永;赵春锋;赵中阳;刘钊;张艳辉;荆爱明 -专利权人：大庆溢泰半导体材料有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C30B29/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种钽酸锂单晶生长设备，包括生长罐，生长罐的内部固定安装有外侧坩埚，外侧坩埚的顶部固定安装有抚平装置，生长罐的侧边固定安装有水冷装置，水冷装置的侧边固定安装有惰性气体输入装置，设置惰性气体输入装置，使氩气罐内部的氩气，通过出气管经过伸缩管，使内部始终处于充满惰性气氛中，提升钽酸锂单晶的生长速率和生长效果，使生长设备的性能提升，在抚平块的作用下，钽酸锂单晶的表面更加光滑，设置抚平装置为钽酸锂单晶后续的工序减轻加工难度，使氩气罐内部的氩气，通过出气管在外部水箱的内部进行流动，通过水冷机组的作用，提升钽酸锂单晶生长的质量，同时避免原料的在内坩埚的内部残留。
一种钽酸锂单晶生长设备

[实用新型]低位错INP单晶生长用的单晶炉-CN202221773169.7有效
发明人：袁韶阳;冯佳峰;于会永;赵春锋;赵中阳;刘钊;张艳辉;荆爱明 -专利权人：大庆溢泰半导体材料有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： C30B29/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了低位错INP单晶生长用的单晶炉，包括炉体，炉体的表面开设有进料口，炉体的顶面可拆卸安装有副体，炉体的表面活动安装有移动装置，炉体的底面可拆卸安装有排气装置。上述方案中，设置移动装置，使得连接板能够带动滚轮接触地面，因此当滚轮在连接板内部转动时能够带动单晶炉进行移动，减少了移动单晶炉所需要的人力，从而达到了提高装置便捷性的效果；设置排气装置，使得插柱能够同时脱离第二固定柱，因此第二固定柱能够收缩进连接柱的内部，此时可以将废气管和密封环从底盘的底面拆卸，从而操作人员能够对管内的杂质进行清理，避免了废气管被杂质堵塞而无法正常工作的情况，从而达到了提高装置实用性的效果。
低位 inp 生长单晶炉

[实用新型]环保型钽酸锂单晶生长设备-CN202221158351.1有效
发明人：袁韶阳;冯佳峰;于会永;赵春锋;赵中阳;刘钊;张艳辉;荆爱明 -专利权人：大庆溢泰半导体材料有限公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了环保型钽酸锂单晶生长设备，包括导流管，导流管的侧面可拆卸安装有加热组件，导流管的右端活动安装有卡接组件。上述方案中，首先将定位环卡接在定位槽内部，然后沿着杆子移动两个半环带动卡接环卡接在环槽的内部，然后将螺栓通过固定块内部，再将螺帽拧紧，利用卡接组件可以快速的将炉体和导流管进行拆装，达到了提高整体装置实用性的效果，将现有的气动装置连接至导流管的左端，接着将驱动盒通电，加热管开始发热，气流经过加热直接进入到炉体的内部，利用加热组件可以使得进入到炉体内部的气体进行初次加热，从而防止其吸收炉体内部的热量，进而影响整体生长炉的使用效率，因此达到了提高整体装置生产效率的效果。
环保型钽酸锂单晶生长设备

[发明专利]一种真空法将砷化镓多晶合成的废料综合回收的设备-CN202210733857.9在审
发明人：袁韶阳;冯佳峰;于会永;赵春锋;赵中阳;刘钊;张艳辉;荆爱明 -专利权人：大庆溢泰半导体材料有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C30B29/42 文献下载
摘要：一种真空法将砷化镓多晶合成的废料综合回收的设备，涉及砷化镓废料回收装置领域，包括真空压力分解装置、砷回收装置和镓回收装置；真空压力分解装置包括真空分解炉，真空分解炉一端为高温端，另一端为低温端，砷回收装置包括集砷罐和真空泵，集砷罐与真空泵连通，集砷罐的上部与真空分解炉的低温端通过管路连通，集砷罐设置有竖向放置的收集网，集砷罐下方设置有砷收集盒；镓回收装置包括镓液冷却过滤器、洗镓槽、分级溢流槽和镓液收集槽。本发明旨在对砷化镓废料进行全程自动化处理，减少人员接触，自动上料，砷镓自动分离，分离后自动进行纯化处理，产出品纯度至少在5N以上，剩余尾料可循环使用，基本实现零排放。
一种真空法将砷化镓多晶合成废料综合回收设备

[实用新型]三五族半导体可视化晶体生长设备-CN202221057116.5有效
发明人：袁韶阳;冯佳峰;于会永;赵春锋;赵中阳;刘钊;张艳辉;荆爱明 -专利权人：大庆溢泰半导体材料有限公司
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： C30B13/00 文献下载
摘要：一种三五族半导体可视化晶体生长设备，涉及晶体生长设备技术领域，包括单晶生长炉，还包括可视化组件和监视器，所述的可视化组件位于单晶生长炉的上方，可视化组件包括上可视窗片和下可视窗片，两片可视窗片通过视窗固定器固定密封连接，两片可视窗片之间存在过冷却水的腔室，腔室的一端设置有进水口，腔室的另一端设置有排水口，上可视窗片的上方设置有摄像头，摄像头与监视器电性连接。本实用新型具备可视化的特点，因此能够及时的针对缺陷做出调整，做到最大可能降低缺陷，提升良品率。
三五半导体可视化晶体生长设备

[实用新型]一种用于砷化镓薄片高速切割工艺的晶棒粘接托架-CN201821981383.5有效
发明人：于会永;冯佳峰;王文昌;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋;张军军 -专利权人：大庆溢泰半导体材料有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于砷化镓薄片高速切割工艺的晶棒粘接托架，包括底座，底座的顶端两侧设有支撑板，支撑板的顶端设有支撑横梁，支撑横梁的中心处设有倒扣的气缸，气缸的底部设有连接件，连接件的底部设有切割设备，底座的外侧设有电机，电机上设有第二带轮，底座左侧的前后两端设有垂直设置的一支撑柱，两个第一支撑柱的顶端之间设有第一辊轮，第一辊轮的转轴一端伸出第一支撑柱外并设有第一带轮，第一带轮和第二带轮上套设有皮带，底座右侧的前后两端设有倾斜设置的第二支撑柱，两个第二支撑柱之间设有第二辊轮，第一辊轮和第二辊轮上套设有传送带，传送带上设有若干个均匀分布的薄片托架。实现了砷化镓薄片的固定以及高速切割。
一种用于砷化镓薄片高速切割工艺晶棒粘接托架

[实用新型]一种用于砷化镓晶片无蜡抛光工艺中的无蜡垫冲压装置-CN201821981360.4有效
发明人：于会永;冯佳峰;王文昌;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋;张军军 -专利权人：大庆溢泰半导体材料有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： B30B11/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于砷化镓晶片无蜡抛光工艺中的无蜡垫冲压装置，包括底座，所述底座横向中轴线上设有滑槽，所述滑槽的底部的中轴线上设有螺母槽，所述滑槽内设有滑动装置，所述滑槽上设有冲压模盒，所述底座的右侧四个拐角处设有矩阵分布的支撑杆，四个所述支撑杆的顶端设有支撑板，所述支撑板的中心处卡固有气缸，所述支撑板上设有四个贯穿支撑板且呈矩阵分布的滑孔，每个所述滑孔内均设有滑杆，所述滑杆的底部设有下模板，所述滑杆的顶部设有上模板，所述下模板的中心处顶端与气缸的输出端固定连接，所述下模板的的底部的中心处设有冲压模，所述冲压模设在滑槽的正上方，所述上模板设有通过孔，提高了效率，保护了工作人员的安全。
滑槽支撑板冲压模下模板中心处滑杆矩阵分布上模板支撑杆中轴线滑孔气缸底座本实用新型砷化镓晶片冲压装置底座横向滑动装置无蜡抛光拐角处螺母槽输出端通过孔蜡垫贯穿安全

[实用新型]一种含砷废水精滤过滤器-CN201821948544.0有效
发明人：王文昌;于会永;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋;张军军 -专利权人：大庆佳昌晶能信息材料有限公司
申请日： 2018-11-24 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： C02F9/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及废水处理技术领域，尤其为一种含砷废水精滤过滤器，包括底座和废水储水池以及过滤器主体，所述底座的顶部固定从左至右依次设有废水储水池和水泵以及过滤器主体，所述废水储水池的内壁固定安装有固液分离滤网，所述废水储水池的右侧固定安装有连接管，所述连接管的另一端固定连接于水泵，所述水泵的顶部安装有进液管，所述进液管的另一端固定安装于过滤器主体的左侧，所述进液管上设置有进口阀，所述过滤器主体的顶部安装有上盖，所述上盖的顶部固定安装有拉手，所述上盖与过滤器主体的右侧固定安装有铰链，整体设备过滤净化效果好，纯水通量高，便于清洗，且稳定性和实用性较高，具有一定的推广价值。
过滤器主体废水储水池进液管上盖水泵精滤过滤器顶部安装含砷废水连接管底座废水处理技术过滤净化效果本实用新型纯水通量固液分离整体设备进口阀铰链滤网内壁拉手清洗

[实用新型]一种一体化的含砷废水预处理装置-CN201821944899.2有效
发明人：王文昌;于会永;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋;张军军 -专利权人：大庆佳昌晶能信息材料有限公司
申请日： 2018-11-24 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及废水处理技术领域，尤其为一种一体化的含砷废水预处理装置，包括底座、壳体、电机、过滤网以及活性炭吸附层，所述底座顶部两侧固定安装有支撑架，且所述支撑架顶部固定连接有壳体，所述壳体顶部右侧设有进水口，所述壳体左端上部固定连接有支撑板，所述支撑板顶部设置有储液罐，所述储液罐右端贯通连接有导液管，且所述导液管上靠近壳体左端设置有高压泵，所述导液管远离高压泵的一端贯穿壳体左端且延伸至壳体的内部，所述导液管底部设有喷头，所述支撑板底部固定安装有电机，所述壳体内部左端且距离电机右端安装有转轴。本实用新型中整体装置结构简单，操作方便，且净化效果好，具有一定的推广价值。
壳体导液管左端本实用新型预处理装置电机含砷废水储液罐高压泵支撑板废水处理技术活性炭吸附层整体装置结构喷头支撑板顶部支撑架顶部底座顶部贯通连接净化效果壳体顶部壳体内部一体化过滤网进水口支撑架转轴底座贯穿延伸

[实用新型]一种用于石英管回收利用的石英管切割装置-CN201821944893.5有效
发明人：王文昌;于会永;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋;张军军 -专利权人：大庆佳昌晶能信息材料有限公司
申请日： 2018-11-24 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： C03B33/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及涂料包装技术领域，尤其为一种用于石英管回收利用的石英管切割装置，包括切割装置主体、传送筒、机箱以及收集箱，所述切割装置主体顶部固定安装有传送筒，所述传送筒内设有导轮，所述传送筒靠近收集箱的一侧固定安装有升降台，所述升降台两侧固定安装有固定架，所述固定架上固定安装有机箱，所述机箱内设有氮气室，所述氮气室底部固定安装有高压泵，所述高压泵底部固定安装有氮气喷口，本实用新型通过设置的氮气室以及氮气喷口，在氮气室内储放液化氮，通过高压泵抽取，由氮气喷口对准切割处进行喷射，对切割处产生的高温进行冷却，避免高温对刀具产生的损伤，使得设备使用时，可以更好的进行切割处理。
传送筒石英管氮气喷口氮气室高压泵升降台切割装置主体本实用新型回收利用切割装置固定架切割处收集箱氮气设备使用涂料包装液化氮导轮机箱刀具喷射冷却切割抽取对准损伤室内

[实用新型]一种多温区砷化镓合成装置-CN201821981567.1有效
发明人：于会永;冯佳峰;王文昌;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋;张军军 -专利权人：大庆溢泰半导体材料有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： C01G28/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种合成装置，尤其为一种多温区砷化镓合成装置，包括反应器外壳体、反应器内壳体、第一反应腔、第二反应腔和第三反应腔，所述反应器外壳体的底部固定安装有支撑架，所述支撑架上固定连接有安装板，所述反应器外壳体底部固定安装有三组导出器，所述反应器外壳体基面固定安装有三组观察窗口，所述反应器外壳体顶部固定安装有三组第一导入器和第二导入器，所述第一导入器、第二导入器和导出器均包括导管、活塞、推把和出进液管，所述活塞和推把通过连接杆固定连接，所述反应器外壳体的内部固定安装有反应器内壳体，本实用新型整体装置结构简单，安全系数高，方便快捷，多温区，具有一定的推广作用。
反应器外壳导入器合成装置多温区反应腔本实用新型活塞反应器导出器内壳体砷化镓支撑架推把整体装置结构安全系数观察窗口内部固定安装板进液管连接杆导管基面

[实用新型]用于石英管回收利用的石英管熔接装置-CN201821948102.6有效
发明人：王文昌;于会永;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋;张军军 -专利权人：大庆佳昌晶能信息材料有限公司
申请日： 2018-11-24 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及溶接技术领域，尤其为用于石英管回收利用的石英管熔接装置，包括工作台、注塑箱、溶接支架、溶接装置本体、高温溶接枪以及驱动电机，所述工作台左端设置有注塑箱，且所述注塑箱顶部右侧设有溶料筒，所述注塑箱内部左端固定安装有电动推杆，且所述电动推杆右端固定连接有内模具套筒，所述电动推杆右端且位于内模具套筒外侧设置有外模具套筒，所述电动推杆上贯穿连接有连接杆，且所述连接杆的两侧分别滑动连接在两组滑杆上，所述注塑箱内部顶端贯通连接有注塑管，所述注塑箱基面中心处设有控制面板，所述工作台顶部内侧设有凹槽。本实用新型中整体装置结构简单，操作方便，且节约成本，具有一定的推广价值。
注塑电动推杆石英管工作台套筒本实用新型回收利用熔接装置连接杆内模具左端整体装置结构贯通连接滑动连接控制面板驱动电机外侧设置接装置面中心外模具箱顶部注塑管滑杆两组料筒箱基支架节约贯穿

[实用新型]砷化镓晶片片盒清洗装置-CN201821981568.6有效
发明人：于会永;冯佳峰;王文昌;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋;张军军 -专利权人：大庆溢泰半导体材料有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种清洗装置，尤其为砷化镓晶片片盒清洗装置，包括清洗机、砷化镓晶片盒、清洗喷头和铝合金软管，所述清洗机基面固定安装有箱门，所述箱门上镶嵌设置有控制开关，所述清洗机顶部开设有清洗槽，所述清洗槽底部开设有若干组气孔，所述清洗槽的内部放置有砷化镓晶片盒，所述砷化镓晶片盒包括盒盖和盒体，所述盒体的内部镶嵌设置有放置槽，所述清洗机顶部固定安装有固定座，所述固定座上开设有通孔，所述清洗机的顶部设置有清洗喷头，所述清洗喷头和通孔通过铝合金软管贯通连接，所述清洗喷头一侧镶嵌设置有清洗开关，所述清洗喷头远离清洗开关一侧开设有弧形凹槽，本实用新型整体装置结构简单，便于二次利用，具有一定的推广作用。
清洗喷头清洗机砷化镓晶片清洗装置镶嵌设置清洗槽本实用新型清洗开关软管固定座砷化镓铝合金盒体通孔整体装置结构顶部设置二次利用贯通连接弧形凹槽放置槽盒盖基面箱门

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