[发明专利]基板载置方法、成膜方法、成膜装置以及有机EL面板的制造系统有效
| 申请号： | 201911305427.1 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111331622B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 须志原友和;户江由也 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及基板载置方法、成膜方法、成膜装置以及有机EL面板的制造系统。高精度地进行基板与掩模的对准。使由夹持单元(28a、28b)支承的基板处于掩模的上方而使基板从水平的第一姿势转移到夹持单元(28b)侧高的第二姿势。在保持基板的第二姿势的状态下，使夹持单元(28a、28b)下降，使夹持单元(28a)侧的基板标记和掩模标记进入摄像装置的景深内，使基板移动，以使对各标记进行拍摄而取得基板与掩模的相对位置信息并求出的位置偏移量减少。若位置偏移量小，则解除夹持单元(28b)的按压力或变更为较小的按压力，在保持第二姿势的状态下，使夹持单元(28a、28b)下降，若基板与掩模接触，则进一步使夹持单元(28b)下降，将基板载置于掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载置 方法 装置 以及 有机 el 面板 制造 系统 | ||
【主权项】：
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