[发明专利]晶圆传送装置及半导体处理设备在审
| 申请号： | 201911132100.9 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112908918A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 任春虎 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种晶圆传送装置和一种半导体处理设备，所述晶圆传送装置包括：底座；机械臂，所述机械臂一端固定于所述底座，可绕所述底座转动，另一端设置有承载部，用于放置晶圆；静电吸附组件，与所述承载部之间相对固定连接，用于通过静电吸附力将晶圆吸附于所述承载部表面。所述晶圆传送装置能够减少晶圆破片风险。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 装置 半导体 处理 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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