[发明专利]一种在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法在审
| 申请号： | 201911053967.5 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110629193A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 李晓;刘成;胡晓君;陈成克;蒋梅燕;李传星;吕枫 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/02;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06 |
| 代理公司： | 33213 杭州浙科专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 周红芳 |
| 地址： | 310006 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：不锈钢样品的前处理：对不锈钢样品进行砂纸打磨，用丙酮进行超声处理，烘干备用；S2：在不锈钢表面沉积Cr/CrSiN薄膜：将S1步骤中的不锈钢样品装入磁控溅射设备的样品台中，将Cr、Si靶材安装到靶座上，在不锈钢基底表面沉积Cr膜及CrSiN薄膜，得到含Cr/CrSiN过渡层的不锈钢样品；S3：在不锈钢表面沉积金刚石薄膜：将S2步骤中得到的含Cr/CrSiN过渡层的不锈钢样品超声种晶，利用热丝CVD进行沉积金刚石薄膜，实现在含Cr/CrSiN为过渡层的不锈钢表面上制备金刚石薄膜。本发明通过采用上述技术，使金刚石膜与不锈钢之间结合力高，在洛氏硬度计150 kg载荷作用下薄膜未发生脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 不锈钢样品 不锈钢表面 过渡层 沉积金刚石薄膜 制备金刚石薄膜 薄膜 磁控溅射设备 洛氏硬度计 表面沉积 不锈钢基 超声处理 金刚石膜 砂纸打磨 载荷作用 热丝CVD 结合力 前处理 下薄膜 靶材 靶座 丙酮 超声 烘干 种晶 不锈钢 沉积 装入 备用 | ||
【主权项】：
1.一种在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：/nS1：不锈钢样品的前处理：对不锈钢样品进行砂纸打磨，用丙酮进行超声处理，烘干备用；/nS2：在不锈钢表面沉积Cr/CrSiN薄膜：将S1步骤中的不锈钢样品装入磁控溅射设备的样品台中，将Cr、Si靶材安装到靶座上，在不锈钢基底表面沉积Cr膜及CrSiN薄膜，得到含Cr/CrSiN过渡层的不锈钢样品；/nS3：在不锈钢表面沉积金刚石薄膜：将S2步骤中得到的含Cr/CrSiN过渡层的不锈钢样品超声种晶，利用热丝CVD进行沉积金刚石薄膜，实现在含Cr/CrSiN为过渡层的不锈钢表面上制备金刚石薄膜。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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