[发明专利]四重图形的制作方法在审
| 申请号： | 201910849748.1 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN112462580A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 王科;曾伟雄;李天慧;于星 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G03F7/40;G03F1/68;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种四重图形的制作方法，其主要采用正性光刻胶的负性显影方法，通过进行若干次的正胶曝光‑负性显影以及表成像技术，在基底上制作出四重图形，然后通过刻蚀将四重图形转移至硬掩膜中。本发明的制作方法具有低成本、高工艺效率的优点。另外，本发明通过正性光刻胶的曝光及负显影方法制作图形，可有效提高的图形精度，为图形特征尺寸的微缩提供有效的保证。 | ||
| 搜索关键词： | 图形 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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