[发明专利]一种碳化硅长晶炉生产设备的控制方法及控制系统在审
| 申请号： | 201910775740.5 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN110552062A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王大伟;宗艳民;曲光军;赵爱梅;王雅儒 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 37232 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) | 代理人： | 韩玉昆 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请涉及碳化硅晶体生产领域，具体公开了一种碳化硅长晶炉生产设备的控制方法及控制系统，方法包括：控制器获取碳化硅长晶炉生产设备的工作数据；服务器通过控制器获取至少一个受所述控制器管理的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据；人机操作监控平台从服务器获取已存储的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据并展示；人机操作监控平台接收工作数据调整指令，并响应于调整指令，以控制第一目标控制器进行相应工作数据的调整。工作人员通过人机操作监控平台即可完成在碳化硅长晶过程中，对工作数据的监控以及对工作数据的修改，无需人工现场巡检，十分方便，减少了人工成本。并且通过集中管理控制碳化硅长晶炉生产设备，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 工作数据 碳化硅 生产设备 长晶炉 监控平台 人机操作 控制器 调整指令 集中管理控制 服务器获取 目标控制器 碳化硅晶体 控制系统 人工成本 生产效率 现场巡检 服务器 存储 监控 响应 申请 展示 管理 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅长晶炉生产设备的控制方法，其特征在于，所述方法包括：/n控制器获取碳化硅长晶炉生产设备的工作数据；/n服务器通过所述控制器获取至少一个受所述控制器管理的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据；/n人机操作监控平台从所述服务器获取已存储的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据并展示；/n所述人机操作监控平台接收工作数据调整指令，并响应于所述调整指令，通过所述服务器向第一目标控制器发送控制指令，以控制所述第一目标控制器进行相应工作数据的调整，其中，所述第一目标控制器为待调整工作数据的控制器。/n
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