[发明专利]一种高亮度图形化复合衬底及其制作方法

摘要

本发明公开了一种高亮度图形化复合衬底及其制作方法，所述高亮度图形化复合衬底包括蓝宝石平片，所述蓝宝石平片上分布有一组复合图形，所述复合图形包括纳米球反射层和包覆在纳米球反射层表面的SiO2涂层。其制作方法主要包括以下步骤：在蓝宝石平片上形成一层纳米球反射层；在纳米球反射层上沉积一层SiO2涂层；在SiO2涂层上涂覆一层正性光刻胶涂层，并曝光、显影选择性的去除不需要的部分形成胶柱；以胶柱和SiO2涂层作为阻挡层进行ICP刻蚀得到复合衬底。本发明通过蓝宝石平片、纳米球和SiO2形成复合衬底，纳米球在复合图形中形成蒙古包形微观结构，且纳米球为金属材质，有效减少了光线折射，增加光的反射效率，从而提高图形化蓝宝石衬底的LED芯片的亮度。

主权项

1.一种高亮度图形化复合衬底，包括蓝宝石平片(1)，其特征在于：所述蓝宝石平片(1)上分布有一组复合图形，所述复合图形包括纳米球反射层(2)和包覆在纳米球反射层(2)表面的SiO₂涂层(6)。