[发明专利]一种基于准分子激光器的硬件互锁控制系统及其方法有效
| 申请号： | 201910742243.5 | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN110445005B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 张华;韩晓泉;黄利杰;冯泽斌;张琴;廖密;王香;江锐 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/097 | 分类号： | H01S3/097;H01S3/036;G05B19/042;G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及激光器技术领域，特别涉及一种基于准分子激光器的硬件互锁控制系统及其方法；本发明通过硬件互锁管理单元接收传感器发送至的腔体开关信号同时接收光刻机发送至的控制信号，硬件互锁管理单元向配电管理单元发送通道开关信号同时向主控器发送互锁信号，由主控器进行互锁信号逻辑处理，综合硬件互锁管理单元并增加了互锁信息CAN接口传送到激光器，使激光器工作的安全性得到提高，有效保护设备和人身安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 准分子激光 硬件 互锁 控制系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于准分子激光器的硬件互锁控制系统，与激光器的主控器进行无线通讯，其特征在于，包括设置在激光器内的用于监测激光器内腔体情况的传感器、用于发出控制信号的光刻机、用于向所述主控器发送互锁信号的硬件互锁管理单元和用于进行供电的配电管理单元；所述硬件互锁管理单元接收所述传感器发送至的腔体开关信号同时接收所述光刻机发送至的控制信号，所述硬件互锁管理单元向所述配电管理单元发送通道开关信号同时向所述主控器发送互锁信号，由所述主控器进行互锁信号逻辑处理。
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- 本发明提供一种用于激光器的射频电源，包括：单片机控制模块、前级信号驱动模块、前级微带分配电路、功率放大模块、微带功率合成电路、功率信号检测模块、射频输出模块、直流电压输入模块，本发明的有益效果是抗驻波比大不会因为驻波比瞬间过大而损坏，整机使用了微带的线路连接方式，相对传统激光器射频电源体积缩小了很多，频率稳定，并自带有过热保护，反射保护。
- 一种高重频双腔准分子激光器放电同步控制系统和方法-201510175072.4
- 马英麒;徐向宇;郑凯元;周翊;王宇 - 中国科学院光电研究院
- 2015-04-14 - 2018-03-23 - H01S3/097
- 本发明公开了一种双腔准分子激光器放电同步控制系统和方法，两个时序采集单元分别采集MO腔和PA腔的脉冲放电信号；延时测量单元根据两个时序采集单元采集的脉冲放电信号获得MO腔和PA腔之间的出光延时值；状态采集单元采集MO腔和PA腔的状态信息；主控单元根据出光延时值、延时设定值和状态采集单元采集的状态信息，执行闭环控制算法，获得放电延时的更新值，并将该值送给延时输出单元；延时输出单元接受双腔放电延时的更新值，同时触发脉冲分为对应于双腔放电延时的更新值的两个脉冲输出给两个电源和第二电源以触发放电。本发明能够消除温度漂移和腔内压强的变化对电源同步放电的影响，实现双腔放电抖动小于±5ns。
- 射频激励的气体激光器预电离装置-201721535664.3
- 孙尚勇;齐沣;张萍;花明 - 吉林省永利激光科技有限公司
- 2017-11-16 - 2018-03-02 - H01S3/097
- 本实用新型涉及一种射频激励的气体激光器预电离装置，解决现有技术只能提供一个频率，同时满足预电离和激光工作。没有办法精准提供预电离同激光器工作维持2个频率，因为预电离时和激光工作时频率有差导，就会导致预电离不充分点不着火或者在工作时不是最佳状态。该射频激励的气体激光器预电离装置包括第一晶振，第一晶振调制器，第二晶振，射频功放，多个逻辑元件，以及射频激烈的二氧化碳激光器腔体。本实用新型的射频激励的气体激光器预电离装置，可以精准提供预电离频率和工作维持频率2个频率，避免了预电离不充分点不着火的情况，同时可以保证在工作时处在最佳状态。
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